激光干涉仪在机床位置精度检测中测量不确定度分量的分解

    一、引言

    随着我国加入WTO，国内各行业都面临着和国际接轨这一现实间题。而IS09001《质量体系设计、开发、生产、安装和服务的质t保证模式》中，对测盆结果的不确定度有明确的要求。作为国家级的机床认可实验室也不例外，根据新的国际标准ISO/ IEC17025《测试和校准实验宜认可准则》，能否进行测童不确定度的评定已成为比较一个实验室水平高低的重要标志。中国国家出入境检验检疫实脸室认可委员会(CCIBLAC)于2001年6月1日发布/2001一6一1实施CCIBLAC/AG04 (} }不确定度的政策指南)中已明确规定“5.4.6. 1校准实验室或进行其自己的校准工作的测试实验室须建立和实施所有各类校准测量不确定度的评估程序。5.4.6.2测试实验室应建立和实施测t不确定度评估程序。某些情况下，由于测定方法的特性，无法对测童不确定度从计t学和统计学的角度进行有效的、严格的计算;在这种情况下.实验室至少须尝试确定不确定度的所有分童并做出合理评估，并摇确保结果的报告形式不会造成对不确定度的错觉;合理的评估应建立在方法操作知识和测t范围的基础上，并应利用诸如过去的经验和确认数据。

    测量不确定度的定义是裹征合理赎予被测量之值的分散性，与测t结果相联系的参橄。当报告测盆结果时，必须对其质t给出定t的说明，以确定测t结果的可信程度。测量不确定度就是对测t结果质盆的定t表征，测t结果的可用性很大程度上取决于其不确定度的大小。因此，测童结果必须附有不确定度说明才是完整并有意义的。测t不确定度评估的目的就是为了保证测t数据的准确性，使测量值尽可能地趋近X实值，从而体现一个测t结果的质盆水平和一个组织进行侧t的能力，并有助于在全球范围内将各类组织进行的测t及其所得到的结果进行相互对比，取得相互承认或共识。

    测量不确定度不同于仪器误差和测量误差，分析不确定度来源时，应从测盆设备、人员、环境、方法及被侧对象等几个方面全面考虑，不可遗漏，也不能重复。对于用徽光干涉仪进行机床位f精度的检测，评定其侧量不确定度有很大的难度。根据笔者10余年来实际工作中知识和经脸的积累，在此对如何分解影响测量不确定度的各类分t，减小各类分t的不确定度值，从而降低整个测t的不确定度作一些介绍，希望对从事测t工作的同行们能有所启发和帮助。

    二、影响实际测f不确定度的主要因素

    (1)机床因素:机床的静态几何精度，机床运动的稳定性(机床的刚度，机床的热变形以及机床静态几何精度的稳定性)，机床的温度条件。

    (2)环境因素:测童环境温度，测t的环境温度的变化盆(温度梯度)，测盆时的地基状态(地基振动)，测蚤时的外界干扰(外部热源，外部光源)。