轻元素定量EPMA的通用修正程序

　　本文是采用MonteCarlo方法，探讨了轻元素定量的EPMA计算的模型及效果。并用其它作者的计算结果进行了比较。

　　本文所提出计算模型的特点是基于单电子多重散射的基本原理，采用了等步长方式去计算当入射电子同试样原子碰撞时所发生的电离以及入射电子的能量损失和运动方向的变化。有关电子散射中能量变化的计算是采用Bethe的连续能量损失公式。根据电子激发的辐射跃迁理论，用Green和Cosslet的原子电离几率公式计算了X射线产生的强度。经过5000个电子的统计计算得到(它代表X射线产生强度随质量深度分布的函数)，然后以为基础按物质的吸收定律计算其出射强度。

　　计算方法的要点如下:1.在分层计算中，为了准确地确定B、O、F的，使分层计算的步长比计算一般元素的小了一倍;2.为了突出表层的吸收作用，根据不同元素的吸收和在不同工作电压下的实验数据，得到了试样靶面的有效吸收厚度;3.以Heinrich(1966)在不同工作电压下实验测得的纯元素的背散系数为准，确定了屏蔽卢瑟福散射角公式中最大碰撞参数Po;4.用六组实验测定的平均电离能值得到了反映轻元素的J/Z随Z变化规律的公式，也与全元素的实验值互相吻合巧.计算中所用的质量吸收系数是在标准试样上得到分析元素的强度K比，经过MonteCarlo修正计算后，反推出与该元素在标准试样中已知真实浓度相吻合的质量吸收系数值。

　　D.ASewell等[1](1985)比较了最近几个作者提出的四种采用曲线拟合法所建立的修正方法，选用的是氧和氟的94个测量数据。G.F.Bastin[2](1986)比较了五种方法，选用的是他的180个硼的测量数据。比较结果见表和直方图。从表所列各项说明我们的模型无论从检验的元素种类、试样数目、偏差值上，还是适用的广泛性上都优于其它的结果。直方图更直观地看出我们的结果离散度明显地小于其它结果。

　　参考文献

　　[1] Sewell, D. A.，Love , G. , Scott , V. D.，J.phys. D:Appl, phys, 18, 1267, 1269(1985)

　　[2] Bastin, G. F. and Heijligers,H. J. M. ,Quantitative electron probe Microanalysis of Boron in Binary Borides.80C1986).

　　作者：毛允静、赵向荣、谢立、廖乾初冶金部钢铁研究总院