日立H-600型透射电镜中FREE模式在维修上的应用
FREE模式在日立H一600型透射电镜中实质上是属于一种计算机程序中的用户子程序,一旦进入此程序,加在各透镜上的电流将由操作人员自选地作手动控制,其具体使用方法参见H一600型透射电镜使用手册。在使用手册中谈到了FREE模式的操作方法,但并未阐明利用该模式能达到什么目的。本人在仪器维修的过程中发现,应用此程序可大大减少维修工作量,并能提高对故障判断的准确度,以及快速缩小故障范围。现举出维修中的两个不同的故障实例以说明H一600型透射电镜中FREE模式在维修上的应用,供同行们参考。
例(一)
故障现象:仪器开机后真空及高压系统工作正常,但闻到一种近似于油烧热的异味。当将灯丝控制电位器转到预定位置时,发现荧光观察屏上亮度不够,不管怎么调整,现象不变。
故障分析与维修:出现上述故障一般有以下几种可能:一、操作不当。二、镜简机械不对中。三、镜筒内留有异物。四、透镜电流控制系统出现故障。由于在修理前操作人员已进行过多次调整,所以第一种故障的可能性基本可排除。而第二、三两种故障检查起来比较麻烦,从故障的现象及闻到的异味分析,第四种故障出现的可能性较大。如按常规方法对此故障进行检查,必须将各个透镜电流控制通道一个一个地测量,直到找出故障为止。常规方法不但工作量大,而且不易判断准确。如利用仪器上的自身功能FREE模式将会带来很大方便,其检查过程如下:按FREE模式功能键,对各透镜电流控制通道进行扫描,根据扫描电流的增减监视荧光观察板上亮度变化情况,结果发现当Cl聚光镜控制电流变化时荧光观察板上无明显的亮度变化,而其它通道反应正常。打开侧挡板,找到透镜控制电路板,仔细观察发现一大功率电阻R4:变色,并很烫手。从图纸中分析发现,此电阻是Cl聚光镜控制电路中末级电流驱动管Q4。发射集输出电阻。用万用表测量Q。集—射极之间的电压几乎为零。关机后取下该管测量,发现集一射极之间已短路,换下此管重新开机,仪恢复正常。
故障原因:由于C;聚光镜电流控制电路中末级电流驱动管Q4。短路,使得+51伏电压直接通过Q4。集一射极和电阻R4。加到CI聚光镜线圈上,从而使C,聚光镜电流控制电路失去控制,造成第一聚光镜聚光不良。
例(二)
故障现象:仪器开机后看低倍象时,看不出异常。当将放大倍数逐渐提高时,在3000一3500倍之间,图象倍数发生跳变。继续提高放大倍数至8000倍左右,放大倍数不能再增加,而且图象出现无比例变化。
故障分析与维修:根据上述现象分析,故障与镜筒内清洁无关,而影响放大倍数的主要原因可能是由于投影透镜电流控制系统出现故障引起。由于被怀疑的故障范围在透镜电流控制系统中,所以选用FREE模式功能对故障进行诊断是最佳方案。经过观察,发现当对Pl投影镜进行扫描电流控制时,荧光观察板上亮度随控制电流的改变而变化很小。为此决定重点对P:系统进行检查。Pl系统和其它透镜系统一样由数字电路控制即CPU和I/O接口电路,以及线性电路即LENS电流控制板上电路。为了缩小故障范围,使用FREE模式功能对测试点TP3;、TPZ。、TP3。处进行了测试。结果发现TP3;能随扫描电流变化而变化,这就排除数字电路的故障。继续测量,得到的结果是除测试点TP3。处有异常外其它都很正常。这说明故障出现在运放IG输出端和三极管QZ。输入端之间。关机对电路中有关元件与其它相同电路中相同元件作对比静态测量,最后发现仅D3;稳压二极管参数有差异,因此怀疑此管参数变坏,折下此管换上一个新元件后,仪器恢复正常。
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