KYKY2000型电镜电子光学控制系统

　　KYKYZO00型扫描电子显微镜电子光学控制系统的主要特点是:具有自动聚焦、自动消象散、自动对中以及自动亮度和对比度等控制功能。该系统全部采用了数字化电路，利用无级连续调节增强电路的可靠性，保持了一般扫描电镜传统的手动调整功能，实现了自动控制调节透镜的功能。

　　本系统是采用一个280微处理机及相应的内存和外设接口，由软件来控制物镜、聚光镜、X，Y对中、X，Y消象散器以及亮度和对比度组成的各组电源。数字控制电路通过各组透镜的单功能键和一个公用光电编码器输出脉冲，产生数字控制信号，用D/A变换器把数字量转换成模拟参考电压，并沿用原KYKY100OB电镜成熟的模拟电路功率输出部分，完成各组透镜电流的手动调整。同时通过微处理机与PC机的通讯接口传递数据，再由主计算机对数据进行运算和处理，将数字量送回系统的数字化电路，完成透镜电流的自动调整。此外，放大倍数控制也是由数字化电路来实现的，微机软件处理，保证了放大倍数的准确性;

　　系统主要部分一一一物镜的数字电路中采用了一个12位的D/A变换器和一个·8位的D/A变换器组合搭配成一个16位D/A变换器。这样既能满足物镜稳定度及聚焦调整的要求，又经济实用，同时在接口的轩衔接处有一定调节量，保证了物镜电流连续可调。此外，物镜电路数字化，通过微机的软件控制，便于实现物镜调焦时放大倍数的自动补偿.根据测量出的放大倍数，物镜电流(对应于一定工作距离)关系式:

　　注M—放大情数值，I—物镜电流值，s—作距离为12在任意放大倍数下，改变物镜电流后，使放大倍数修正简单，易行。

　　系统自动聚焦，自动消象散及白动亮度，对比度等自动功能的实现，是把物镜，消象散器或是亮度，对比度的数字值，通过微机与PC机的接口传递给PC机，由PC机计算帧存储器中相应象素的强度梯度或是作灰度直方图，选择出最佳状态下的数字量，再返送回微机去控制调整相应的电流。附图[1][2]是对一幅失焦图象用自动聚焦功能实现正聚焦的.

　　系统的数字显示分为二组，面板显示器由微机软件控制，可直观的反映系统透镜的电流，工作距离和放大倍数的当前值，还可在调整透镜时，瞬时显示其电流值，然后自动返回放大倍数值的显示。CRT显示是通过PC机将放大倍数和高压的数字量读出，由PC机得数据送人帧存储器的图形层，在荧光屏上显不。

　　微机控制和电子光学系统，使各组透镜性能稳定，工作可靠;使操作人员的工作简单，方便、直观。