新型精密狭缝的设计

　　1概述

　　在国内外的同步辐射装置中，弹性铰链已经在光栅单色器中一泛采用。作为单色器中的币要的部件，对单色器的性能影响来自以下方ICI:狭缝木身的性能及环境的兼容性和狭缝位置及姿态。

　　狭缝木身的性能包括其开II的均匀性、对称性、币复性和分辨率。为了保证上述性能在超高真空环境中能够顺利实现，有关设不「要求结构简单，以保证真空性能良好;同时一必须根据实际使用情况，考虑合适的冷却措施，避免同步辐射光引起狭缝刀II的热变形对狭缝性能的影响。

　　在光学系统中，狭缝应该放置在罗兰圆上或者-光学系统的焦点位置，并使狭缝的开II方向与光栅的刻线方向平行并与光轴垂直。该土作基木上通过机械准直和光学调试来完成。为了调试的方便，应把狭缝的刀II方向外延到狭缝真空室的外ICI，以便安装准直时采用。

　　木文介绍该狭缝的设不一特点，土艺考虑和性能测试结果。

　　2精密狭缝的设计

　　为了满足光学系统的分辨率和通量要求，狭缝的开启范围是Olmm，连续可调，精度为0. OOSmm}币复性0. OOSmm}狭缝开II高度<40mm o在使用环境的真空度为6. 7 x 10-}Pa情况下，运动灵活。对十高热负荷的狭缝，要考虑水冷措施。

　　我们曾经设不「了一种基十弹性铰链的狭缝”图1通过沿直线导轨运动的楔型块驱动固定在平行U }I边形弹性铰链上的一对滚动轴承，使狭缝刀II对称开启。可以根据楔型块的形状来调节狭缝开启的大小和楔型块移动距离的关系(该关系可以是非线性的)。但由十其结构决定了在设不上要求直线导入运动的精度要高，轴承的间隙要小，在安装时一，直线运动的方向和狭缝开II的方向平行而日对称。否则，会导致狭缝无法均匀对称开启。

　　近来在美国先进光源装置ALS的光束线上最新采用的狭缝，是在(Glidcop合金(一种含有A1-03微粉的铜合金，其特点为具有和铜一样的高热导率、比铜的强度高、在高温下材料仍然保持稳定性和超高真空兼容的特点)上，整体加土制造出铰链、法兰刀!}和水冷系统。目前国内尚无类似的材料，而日该设不一的加土成木高。由十弹性铰链部分的设不}一比较合理，从原理上保证了狭缝的对称开启，导向部分的加土和部件组装的难度较小，因此我们决定采用该部分的设不一思想，对原ALS的设不}一进行了改进和简化，并根据国内的材料和土艺条件，成功地制造了新的精密狭缝部件，并在国家同步辐射实验室二期土程的光栅单色器上采用。

　　2.1弹性铰链设n-和土艺

　　弹性铰链的设不一和加土土艺是狭缝的关键。下ICI将讨论有关设不一的细节。