HITECH人机界面在自动镀膜控制系统上的应用

　　本文介绍了罗升企业电气产品中具有强大功能的HITECH人机界面与PLC共同组成的控制系统在镀膜业上的应用情况，为镀膜行业用户提供了一个良好的解决方案。

　　1 引言

　　南阳中光学机电装备有限公司真空技术公司是中光学集团的全资子公司，是国内实力较强的中高档真空镀膜机专业生产厂家，产品涉及光学镀膜、激光薄膜、金属薄膜、树脂镀膜等多个领域。公司立足于全球化合作与全球化的采购，公司聘请了多名国际、国内知名的真空方面的专家、教授、拥有大批科研人员，注重技术创新，自主研发的OMC-200B光学膜厚控制仪、EBG系列电子枪等镀膜设备的核心部件，已经赶超世界先进水平。针对客户各种需求，努力为用户提供最佳性能的镀膜设备，永远是我们的奋斗目标。

　　2 应用设计

　　2.1 控制要求

　　由于客户属于半导体行业的实际情况，当时客户对控制系统提出了以下几点要求：

　　1、 系统要稳定可靠，可长时间无人值守自动运行。

　　2、 可以保存多组配方，并能按预先设定的配方自动镀膜。

　　3、 工艺参数实时可调。

　　4、 数据参数可以保留。

　　5、 要为以后的组网余留通讯接口。

　　2.2 系统分析

　　根据客户提出的控制要求，系统要能够手动自动灵活控制。因此我们选用了稳定可靠的HITECH人机，该人机不但能保存大量的工作数据，而且可用CF卡的方式供用户保存工艺及膜系数据，也可以将镀膜数据在电脑上修改后经由CF卡传回触摸屏，这样管理数据非常方便。

　　另外，由于HITECH人机提供了强大的宏指令，而且宏指令的编辑非常简单易学。所以通过宏指令使人机来和晶体膜厚监控仪通讯很容易。人机接收到监控仪上的数据后，通过宏指令进行算术运算，然后进行逻辑判断，再发信号给PLC，来控制设备的自动运行。

　　经过上述分析，我们提出了以下控制方案：

　　控制系统框图

　　2.3 基本电气结构和配置情况，如下

　　A.数值量输入输出，实现现场信号的采集和按工艺要求做逻辑控制输出

　　B.利用屏的双串口双驱功能和plc，晶体控制仪器同时通讯。用通讯方式实现仪器的命令控制，省去很多硬接线麻烦，简化了控制系统结构。各工艺参数设定，实时数据显示，报警提示等都可以在人机上直接操作，真正体现了人际交互功能。

　　2.4 抽气系统画面

　　2.5 工艺参数画面及宏指令

　　画面1

　　画面2