荧光屏调制传递函数的测量

　　    荧光屏位于扫描电子显微镜的取样室，一条不足2µm宽的线条被扫描电子显微镜的果焦电子束激发，只朝着线条方向偏转。荧光屏的结构将线条质量降低，用特制的光学系统把降低了质量的线条的图象从扫描电子显微镜输送到调制传递函数分析仪。

　　    本文对确定这种系统响应的测量方法和各种荧光屏的测量结果一一作了说明。

　　    一、引言

　　    高分辨率的荧光屏用于在夜视和医疗方面应用的象增强器。在这些方面的应用中，荧光屏或者用高倍目镜观测，或者与电视摄象机或电影摄影机绷合在一起。它们的质量要求高于那些通常用于直接观察的电视显象管的荧光屏，它们的研究与发展通常需要测量其调制传递函数，而这种测t又与象管的电子光学系统无关，但是电子激发却是获得真实结果所必需的。因此，需要一种可拆卸的真空系统，在该系统里，可以在荧光屏上形成电子图象，此图象用作侧试图形，这种电子图象的质量必须很高，要超过被测试的荧光屏质量。

　　    二、测试方法

　　    荧光屏侧试最适用的图形是一根很细的线条。荧光屏的结构会降低这根线条的质量，使它显得棋栩或发生扩散。求出这根线条的线性扩展函数的傅里叶变换，即可得到调制传递函数。在测量中，重要的一点是将线性扩展函数的尾部数据全部包括进去。这种测量可分为两步:先在黄光屏上徽发一条细线，然后再分析所形成的线性扩展函数。

　　    1.在荧光屏上激发一条细线

　　    好多年以前，D.G.Taylor〔1〕设计了一种简单的装置。在这种装置里，他把一个5µm，宽的狭缝放在尽可能接近荧光屏的位置，并用电子束轰击。在荧光屏上便形成狭缝的影象。这台装置的出现曾获得了一些有用的结果，但是狭缝的电子散射给精确地估计这台装置的响应带来了困难。如果要发展一种可靠的测量技术，就需要在荧光屏上划出一条细线而不用靠近荧光屏的狭缝。采用一台帧偏转线圈断开的扫描电子显微镜，即可划出这样的线条。

　　    2.线性扩展函数的分析

　　    线性扩展函数可以逐点测量，并且其傅里叶变换可以采用以下二种方法之一来完成，其一是使用数字计算机来进行，其二是用模拟计算机来进行。后一种方法的优点是将良好的信噪比和实时傅里叶变换结合起来。现在市场上可以买到的儿种这样的模拟装置，通常称为调制传递函数分析仪。在这些分析仪器当中，较适合的一种是SIRA象增强器调制传递函数仪〔幼，另一种是台尔夫特公司制造的ODETA型调制传递函数仪〔3〕。