ASM181T氦质谱检漏仪常见故障分析

　　一、工作原理

　　1.工作气路( 图 1) 。

　　2.检漏仪工作准备过程( 自动内部校准）

       ( 1) 预抽。合上检漏仪电源开关，粗抽泵启动，循环指示按钮的绿色指示灯闪亮。

　　( 2) 当初压力达到设定值( 大约 5s 后) ，P 指示灯亮 ， 分子泵启动，分子泵转速达到正常转速大约需要 2～3min，当分子泵转速达到正常转速时，分子泵转速指示 OK 灯亮。 同时，灯丝启动，灯丝开关指示灯闪亮大约 8s 后，指示灯亮，灯丝点亮。

　　( 3) 检漏仪自动标定。 AUTOCAL 开关红色指示灯闪亮 ，如果没有故障，几秒钟后绿色指示灯亮，内部漏孔通大气。 表示检漏仪自检完成，可以工作了。

　　3.检漏仪检漏过程

　　( 1) 粗抽。按下遥控器上的循环启动按钮，粗检阀 4 打开，遥控器右侧压力显示光柱下降。

　　( 2) 大漏检测方式。 如果按下粗检按钮，当真空达到6×102MPa时，分子泵排气口阀 6 打开 ，遥控器中间光柱显示当前漏率。

　　( 3) 细检方式 。 如果不按下粗检按钮 ， 当真空达到 2×10-4MPa 时，粗检阀 4 关闭，细检阀 5 打开，遥控器左侧光柱显示当前漏率。

　　4.质谱室工作原理

　　质谱室工作原理( 图 2)。质谱室是用来检测氦的分压强。当质谱室内的总压强( 真空度)<10-6MPa 时，电离室中由钨丝制成的灯丝启动，加热后产生高速电子轰击离子源中的气体分子，使分子电离。 大部分的气体分子都能变成离子，离子在电场中被( 加速电压) 加速，从而进入与其垂直的偏转磁场，不同质量数的离子其偏转半径不同。 加速电压使得氦离子可以打到放大器的入口( 电子倍增器)，从而检测出氦离子流的强度，氦离子流与容器内的氦分压成正比， 因此对氦离子的测量可以确定被检件的漏率。

　　二、设备维护

　　1.机械泵维护

　　( 1) 每月检查机械泵油位，如果油位低于或快接近油位下限时，须添加机械泵油;如果油呈棕色、褐色，或闻起来有异味，说明油已变质。 应将油放尽后，暂时将放油塞拧上，让泵在进气口打开的状态下运转约 10s， 将留在机械泵循环通路中的油也放出，再拧开放油塞，放出残留的油。 必要时，先用新油冲洗一遍，再加入新油。

　　( 2) 每 3 个月更换机械泵油。检查油雾过滤器，若被油浸透，应更换。

　　2.离子源维护

　　在对离子源作维护之前， 必须将检漏仪的主电源插头拔下。

　　( 1) 拆卸 VHS 放大器。将 VHS 放大器和离子源的电源接头卸下， 用内六角扳子拧下两个紧固螺钉， 拆下 VHS 放大器，将VHS 放大器头朝下，放置在清洁处，注意防尘。