集成电路基板研磨表面误差自动修正技术
针对现有LSI基板研磨过程中,表面误差修正中存在的问题,提出了一种表面误差自动修正系统。该系统采用激光技术测量研磨中的基板表面状况;并以此为基础建立加工状况数据库,同时采用楔形机构对基板表面误差修正控制。
三用游标卡尺自动研磨机的研制
本文介绍了游标卡尺修复的基本方法,并在总结前人经验的基础上,研制出了三用游标卡尺自动研磨机.该机保证了修复卡尺的质量,减轻了工人的劳动强度.
滚珠丝杠滚道研磨工艺试验研究
为探究滚珠丝杠滚道的研磨工艺,应用自主研制的滚珠丝杠研磨工装及研磨试验台,对单根丝杠进行分段研磨试验,重点研究了丝杠行程误差、滚道表面粗糙度及表面残余应力随研磨周期的变化情况。结果表明,使用自制的研磨工装可有效改善滚珠丝杠的行程误差,减小左右滚道粗加工时存在的粗糙度差异。其中,左右滚道全程变动量分别下降46.5%、24.2%,表面粗糙度Ra分别达到0.2658μm、0.2843μm。此外,研磨前滚道表面残余应力在-200MPa以下,随研磨周期数增加,滚道表面残余应力增大,研磨后表面残余压应力可达-450MPa以上,有利于疲劳寿命。试验验证了自主研制的丝杠研磨装置及丝杠研磨工艺的有效性,并为深入研究研磨参数对滚道表面的影响提供了借鉴意义。
SiC单晶片研磨材料去除率研究
碳化硅(SiC)单晶片属于难加工材料,在使用之前必须要进行研磨与抛光。材料去除率(Material removal rate,MRR)是衡量SiC单晶片研磨与抛光效率的重要因素。针对传统研磨与抛光过程中考虑磨粒摩擦磨损时建立的材料去除率公式对材料去除的不足,考虑SiC单晶片研磨时磨粒挤压嵌入阶段的材料去除,建立了新型的材料去除率公式。根据SiC单晶片、磨粒与研磨盘之间的接触状态,推导出了包含嵌入阶段和摩擦磨损阶段材料去除的新型MRR数学模型;结合材料的物理特性(如硬度与弹性模量等),进行研磨实验。实验结果与模型预测结果表明,新型材料去除率公式的预测结果更接近实际情况。
立车加工水轮发电机镜板工艺技术
水轮发电机镜板的平面度、平行度、光洁度要求高且工件尺寸大,难以用平面磨床进行加工。文中介绍了运用立车借助专用工具并选用合适的介质加工水轮发电机镜板的工艺技术。主要从立车的选择、机床要求、专用工具的设计和制作以及研磨剂、抛光膏、清洗剂的选择等方面介绍立车加工镜板的工艺技术。
重型滚齿机主轴静压轴承研磨工装设计
重型数控滚齿机主轴均采用静压轴承结构,静压轴承轴瓦面需要精密加工,并且要保证极高的同轴度公差及表面光洁度,使用公司现有加工设备无法保证加工精度达到设计要求.为此设计了一套手动研磨工装,该工装利用高精度磨削研磨套、研磨剂与轴瓦面之间相对运动实现研磨,来完成轴瓦的精密加工,使用效果良好.
某型发动机三支点轴承装配游隙的调整方法
某型发动机三支点轴承在发动机装配时处于盲装状态,故障发生率较高,而轴承工作状态游隙的大小对该轴承疲劳寿命及发动机的性能都有很大的影响。文中介绍在装配过程中控制、调整轴承游隙的方法,以确保轴承的使用寿命,保证发动机工作安全可靠。
深孔底面研磨工具
对于深孔底平面粗糙度要求高的零件,常规的车、铣方法无法满足要求,需经后续研磨处理,研磨工装需确保工装平面可自动调整。
一种非圆零件的磨削加工的液压弹性进给驱动机构
液压弹性进给驱动是利用弹性波纹管作为驱动元件,当高压油液被引入波纹管内时将引起其线性伸长并对支架的垂臂产生一推力,该力将进一步引起水平弹性臂变形而引起研磨头位移.在弹性范围内变形位移与工作压力成正比.因而控制压力的波形即可得到所需要的研磨头的运动轨迹.压力波形由一压力控制阀实现.本文对研磨头位置精度及由此引起的非圆零件表面加工质量有重要影响的动态特性作了理论分析,并设计实验验证了液压弹性进给装置的性能,此装置在研磨头与非圆零件外轮廓接触时对磨头施加一恒定的力以模拟研磨力.实验结果证明进给驱动的刚度足够大,能够保持研磨位置精度.
桩机设备液压故障诊断及修理
进口桩机液压动力不足逐步缩小故障范围确定为液压柱塞泵故障并采取研磨方法修复.