针对分立元件电路噪声与干扰大的特点，设计了基于调制解调方法的微加速度计闭环检测系统，详细介绍了该闭环检测系统的原理框图及实现方法，讨论了该闭环检测系统的数学模型，并且利用精密转台对该微加速度计的性能进行了测试，测试结果表明，该微加速度计测量线性度为2．5％，量程为±1g，刻度因子为3V／g。

本文在研究精密和超精密加工技术的发展对直线度误差分离技术所提出的新要求的基础上，定量分析了传感器初始对准误差、忽略摆角误差和传感器漂移特性差异在时域和频域直线度误差分离方法中造成的误差，同时指出了频域方法中权系数对测量误差的放大作用。

介绍了一种利用波面干涉仪和精度为0.2″的端齿盘组合测量六面体相邻两面垂直度误差的新方法,建立了基于最小二乘算法的评定垂直度误差分布的数学模型,介绍了测量装置及测量实验步骤。该方法不但测量精度高,而且能够获得两个面之间垂直度误差分布数据,可用于六面体面体形位误差的高精度修形加工。针对精度为2″的标准直角棱镜的测量实验表明该方法测量结果可信,精度优于0.5″。可推广到其他多面体类零件形位误差的高精度测量。

建立起了空间直线度误差评定的非线性鞍点规划模型,给出了"最小条件"判据,提出了直接求解鞍点规划模型的遗传算法.最后对实际测量数据进行了误差评定.

为了满足大型光学镜面加工对在位检测的需求，探索了一种应用相位恢复技术的新型镜面测量方法．构建了基于离焦光场的相位恢复测量系统并实现了与此系统相适应的相位恢复算法，此测量系统结构简单且不易受环境振动影响．在此系统基础上，详细分析了各种误差因素以及系统测量；隹确度和测量范围，并针对在位检测的特点和要求，研究了此方法在应用中的可靠性．对一面口径430mm的球面反射镜进行了分平台在位测量实验．实验中分析了不同测量参量对测量结果的影响．相位恢复测量与干涉测量结果对比较为吻合．理论分析和实验都表明该方法切实可行，检测准确度满足光学镜面研抛加工要求。

介绍了微加速度计的基本原理以及国内外常见的各种微加速度计的结构形式,包括压电式、电容式、扭摆式、隧道式等,分析了这些传感器的基本特点,总结微加速度计发展中存在的一些问题,并提出一些解决关键问题的措施,预测微加速度计未来的发展趋势.

根据光学表面在微观结构呈现出的自相似性,利用尺度无关的分形模型描述了其结构特征;采用结构函数法对抛光表面的分形维数进行计算,分析了粗糙度参数RMS值、误差波长、测量尺度、采样长度和采样点数对分形维数的影响规律.在此基础上,提出了采用一阶自回归分形模型对抛光表面进行模拟的新方法,分析了界定尺度、模型参数对分形特征和分形维数的影响规律.利用分形维数描述光学表面的微观结构具有评价方法简单、在一定范围内与测量尺度无关等优点.

研制了一种基于柱面坐标系的新型专用非球面坐标测量机，通过测量非球面多条子午截线实现对非球面形的全口径检测。在结构设计方面，采用了龙门框架加回转运动的形式，利用高精度气浮导轨实现水平运动，利用端齿盘实现对工件的精确分度，通过点位测量的方式实现对非球面形的高精度检测。在软件方面，建立了系统的数学模型和柱面坐标系下回转对称非球面形全口径检测算法，并在VC＋＋6．0和Matlab平台上编制了测控软件和数据处理软件。系统最大测量口径为600mm，测量高度为25mm，最小测量步长为1mm，经过系统误差补偿后，系统精度优于1μm，满足了精磨、粗抛阶段非球面形检测要求。试验表明：系统运行良好，精度满足要求，同时具有良好的通用性，可用于非球面精磨、粗抛阶段的检测。

介绍了一种新颖的非球面轮廓仪的测量原理和测量试验，它通过测量非球面与某一参考球面之间的偏离量来唯一确定非球面的面形误差，通过调整测量臂长以及回转轴线与光轴之间的夹角实现对不同非球面的测量。系统主要由高精度两维转台，高刚度测量臂，四自由度微调系统和高精度扫描测量传感器组成，并分别在VC＋＋6．0与MATLAB平台上开发了测控软件以及数据处理软件。该测量方法的优点是测量所需传感器量程小，测量运动为一个简单的回转运动；缺点是测量调整自由度多，校准困难。建立了测量系统的数学模型，通过测量数据与名义面形之间的非线性优化，在获得面形误差的同时获得了非球面面形参数误差。通过测量多条截线实现了对非球面面形的全口径检测。最后对直径200mm，顶点曲率半径1400mm的凹形抛物面镜进行了测量，结果表明，系...

阀控非对称缸系统存在着大量的非线性和不确定因素，这些因素对系统稳定性的影响非常复杂。本文建立了阀控非对称缸系统的非线性模型，以此模型为基础，利用多参数分岔理论分析了单一因素变化和多个因素同时变化等不同状况下系统稳定性的变化，给出了增大系统稳定裕度的设计指导性意见。