接触式干涉仪示值误差检定及滤光片校准

　　接触式干涉仪是应用光波干涉原理，对微小位移进行测量的精密仪器。 采用比较法，即将被测量与标准量相比较从而测得其差值的方法，其可用于检定长度不大于150mm的量块和其他工件的精密测量。仪器读数窗中刻度尺刻度范围为±50分度，刻度尺的分度值(可调)推荐采用的为0.05μm、0.1μm、0.2μm三种。

　　一、示值误差检定

　　JJG101-2004《接触式干涉仪》检定规程规定 ，仪器的示值误差以二等量块配对法检定，检定工作应在分度值为0.2μm、受检点为±50分度时进行。

　　1.分度值调整(定标)

　　分度数可按式(1)计算：

　　式中：n———k条干涉带间隔所包含的分度数 (格数);λ———干涉滤光片波长;i———分度值;k———采用的干涉带间隔数(当i=0.2μm时，k=32)。

　　实际工作中，为了减小由于干涉条纹的不对称性和物镜畸变对定标的影响，定标前应通过升降工作台使零级干涉条纹移到刻度尺零刻度附近， 再放置滤光片定标。同时要注意将通过式(1)算得的n值基本对称于零刻度来调整干涉条纹间隔。

　　例1：λ=0.550μm，i=0.2μm，k=32

　　由式(1)可求得：n=44.0

　　将第0条干涉带对准刻度尺+20.0，第32条干涉带对准刻度尺-24.0，定标工作就算完成。

　　需要说明一下，由于干涉带调整时带宽变化有时会出现滞后现象，因此不能马上开始检定，应等待10min左右确认干涉带宽度不再变化才可开始检定工作。

　　2.示值误差检定

　　JJG101-2004规定仪器的最大允许示值误差用式(2)计算：

　　式中：n———从 刻 度 尺 零 点 到 受 检 点 的 分 度 数 ;i———刻度尺的分度值;Δλ———中心波长的测量扩展不确定度(0.002μm);λ———被检仪器干涉滤光片的中心波长。

　　例2：λ=0.550μm，i=0.2μm，n=50.0

　　由式(2)可求得：

　　检 定 时 可 选 用 尺 寸 为 1mm、1.01mm、1.02mm、1.03mm、1.04mm、1.05mm、1.06mm、1.07mm的量块配成7对，然后按以下次序进行：

　　(1)用1mm量块对零，以1.01mm量块检定+50分度。

　　(2)用1.01mm量块对零 ，以1.02mm量块检定+50分度。

　　(3)用1.02mm量块对零 ，以1.03mm量块检定+50分度。

　　(4)用1.03mm量块对零 ，以1.04mm量块检定+50分度。

　　(5)用1.04mm量块对零 ，以1.05mm量块检定+50分度。

　　(6)用1.05mm量块对零 ，以1.06mm量块检定+50分度。

　　(7)用1.06mm量块对零 ，以1.07mm量块检定+50分度。

　　检定-50分度时则反之进行。

　　将每次检定的读数代入式(3)计算示值误差：

　　式中：δ———受检点的示值误差;ri———每次的读数值;Ln———最后一块量块的实际尺寸， 当检定正值段时为最大的一块， 当检定负值段时为最小的一块;L1———最初用来对零的一块量块的实际尺寸，当检定正值段时为最小的一块，当检定负值段时为最大的一块;n———所用量块的块数。