DX-3型扫描电镜整机故障分类及可靠性分析

　　DX- 3型扫描电镜是中国科学院北京科仪厂生产的国内第一批扫描电镜，它的试制成功，在当时填补了国内空白，满足了国内许多科研及厂矿单位的急需。

　　我所使用的DX- 3型扫描电镜，是该厂第一批产品之一，从1976年9月安装到1982年5月调出，总计使用了近6年时间，观察了约8000个样品，拍摄了2万4千张照片，为我所的科研工作做出了巨大的贡献。

　　现把该机发生的故障统计如下:见表1.目的是探讨扫描电镜的整机可靠性，为当前尚在使用该型号仪器的单位及生产厂家提供有益的信息。

　　一、平均故障时间:

　　首先需要指出的是:该机故障的统计是在基本上天天开机使用的情况下的统计。否则，就失去了统计意义。如表1所示:共统计ss个月，平均故障时间为1.78月。但77年一79年内，共发生了30次故障，占全部故障次数的81%，平均故障时间为1.2月。80年一82年，共发生故障7次，占故障总数的19%，平均故障时间为4.1月。由此可见:该机发生的故障大多数属于早期失效。

　　二、高压系统故障集中发生于79年，其原因是高压油箱中的油，绝缘性能下降。对于地处南方的单位，定期调换高压油箱中的油，是防止高压系统发生故障的有效措施。

　　三、扫描系统的故障占35.1%且集中发生于前三年。主要问题是该机扫描电路设计本身的限制及各种晶体管的早期失效。如果生产厂加强对晶体管的功率老化考核，则可把故障下降到最低程度。全文结论如下:

　　1. DX- 3型扫描电镜虽属该厂早期产品，但在排除早期失效之后，平均故障时间可达4.1月，这在大型仪器中尚属先进水平。

　　2.该机设计与工艺尚好，其故障大部分是由于元、器件质量不稳定所造成。因此，若能在组装整机前，对元、器件加强检测，则可进一步提高整机的可靠性。

　　3.该机分别于78年9月，80年11月，82年1月进行清洗。由此可见，该机镜筒清洗时间间隔为2年左右，扩散泵油也同时调换，在管理使用与维护方面，还是方便的。