J51150/ZF型自动砂轮划片机的电控系统

　　Jsll50/ZF型自动砂轮划片机是国营西非机器厂承担的国家“七·五”攻关项目之一，‘是该厂在“七·五”散件引进组装、消化吸收、主要软件移植基础上的翻版产品。

　　该机集八十年代高科技于一身、光机电一体化、达到了国外八十年代中期水平，完全可以替代美国MAI公司的IOO6A型、KNS公司的780系列和日本DISCO公司的DAD一ZH/6型等自动砂轮划片机。

　　J51150/ZF型自动砂轮划片机的电控系统是一个多CPU计算机控制系统(见图1所示)，现将其主要部分的功能分述如下。

　　1.主控计算机

　　主控计算机是一个采用了MC6802MPU的通用计算机板，主要完成对机器的编程和操作、各坐标运算、与各从属计算机的通讯及故障的自诊断等，并具有掉电保护功能。

　　2.X、0向电机控制系统

　　x.o电机的控制由一个MC吵02系列通用计算机完成，控制信号输出至两块驱动板，驱动板各自完成对其两相四状态步进电机的驱动。步进电机轴上都带有脉冲编码器和限位传感器，编码信号和限位信号反馈至X、0电机的控制计算机，从而形成闭环。

　　3.丫、Z电机控制系统分

　　与X、0电机控制系统基本相同，完成对Y、Z坐标的控制。

　　4.主轴电机变组电源

　　该电源实际上是一个整流—逆变变频的调速系统，主轴电机为两相，其电压的幅值和频率均可调，系统还有水、气保护，制动和报警等功能，电源的启动频率和电压，工作频率和电压均可在板上调整。主轴采用空气静压轴承，转速可达四万转/分以上。

　　5.CCO旅像—CRT显示系统

        该系统主要用来进行硅片对准。系统采用MCS一51单片机控制，CCD获取的图像由于单目镜火分光极的作用，变成了分场图形，即图形中间有一条竖线;该分场图形与分划线发生器产生的水平线同时显示在CRT上，就得到一个十字分划图形，这样，就可以方便地对硅片进行对准。

　　总之，J51150/ZF型自动砂轮划片机的电控系统中大量采用了八十年代的高新技术，如多CPU控制、CCD摄相、CRT显示、PLD技术等，系统还具有完善的保护报替功能、自诊断功能和自测试功能。J51150/ZF型自动砂轮划片机的划片功能齐全、编程容易、操作方便、系统运行稳定可靠，既能用于划切硅片，又能用于划切玻璃、陶瓷、石英和宝石等材料，其各项性能指标与美国MAI公司的1OO6A型自动划片机完全一样，它的研制成功，使我国半导体专用设备的制造水平上了一个新的台阶，并将为我国八·五”期间研制用于1微米直径150mm生产线的全自动砂轮划片机打下一定的基础。