微电机械系统/微光电机械系统的应用及前景

　　1　一项可以产生巨额效益的技术

　　在本世纪初人们就开始关注影响未来生活的新技术的发展问题,诸如微电子技术、信息技术、生物技术、遗传工程、基因工程、太阳能、燃料电池、甚至核能。特别重要的学科是由以下英文缩写代表的新技术,如微电机械系统(MEMS)、微光电机械系统(MOEMS)或微系统技术(MST),这些统称为微技术。近年来该项技术极大地影响着各项新技术的发展,并被视为未来技术创新的一个关键因素。

　　微技术与微电子技术相同,利用的是微型化和综合集成化的概念和原理。微技术在机械、声学、光学、磁学、热学、化学和生物力学等领域的元器件和系统中的应用使得器件占用空间小、功耗小而且所用原材料少。由于系统的体积很小,所以可采用与微电子芯片同样的方法低成本地批量生产器件并按半导体集成电路的组装方法进行高度集成。由于系统中集成了相当多的功能元件,所以微技术加工的产品均具有多功能的特点。10多年来,微技术已逐渐拥有几十亿美元的市场,各种具有多种功能的微技术产品逐渐走入人们的日常生活中,如娱乐设施用的CD和DVD中的激光头、存储信息用硬盘中的读写头、通信用蜂窝电话中的音频滤波器以及医疗领域中常用的心脏起搏器和助听器等。但这些应用远非全部。据统计,一部现代汽车中可用到近30个微技术产品,包括舒适驾车装置、人员保护装置、发动机控制装置及路面性能测量装置等。在人与数字世界对话用的重要产品———监视器或显示器方面,微技术始终走在最前列。各种平板显示器,包括薄膜晶体管液晶显示器、等离子体显示器、有机发光二极管(OLED)以及其他平板显示器系统都是微技术的产物。从三维电脑控制眼镜,带有数字反　　射镜器件的大屏幕视频图像投影系统,微技术的应用无处不在。目前医药公司和生物技术开发组织也计划投资,利用微型器件制作大信息量显示屏幕,以节省材料、时间和昂贵的基片。微技术将使我们不断地体会科学技术的惊人发展。微技术对经济技术的影响十分可观,其2001年的产品成交量已超过600亿美元(包括CD和DVD等小型设备和平板显示装置)。由于微技术　　的应用,一些产品有可能以高出成本价很多倍的价格销售,从而极具竞争力。微技术的这种巨大影响力决定了它每年将左右数千亿美元的市场资金。同二、三十年前的微电子技术一样,微技术已成为21世纪初最重要的技术之一,它不仅会赋予人们财富,而且还会给相当多的专业人员提供工作岗位。

　　2　微技术的发展前景

　　很难预测2020年微技术的市场将是怎样一番景象,但是可以肯定未来5年内各类企业对微器件的需求量将不断增加。人们将利用装有微技术元器件和微系统的新产品来增强竞争力。预计在这段时间内微技术产品在全球的销售额有望增长20%,甚至更多。