电子探针波谱仪计算机控制系统的改进

　　1前言

　　随着电子技术、计算机技术等新技术的发展，仪器分析在方法和实验技术等方面也发生了深刻的化电子探针作为一种分析仪器在许多领域的应用日益广泛，成为现代分析的重要支柱，已经渗透到了地质、军事、考古、医学等各种研究领域。分析方法的逐步仪器化已经成为一种发展趋势。然而早期进口的电子探针，主机性能基本良好，但配备的计算机早已被淘汰，因此电子探针波谱仪计算机控制系统需要重新开发。

　　2电子探针

　　电子探针是指用聚焦很细的电子束轰击由显微镜选定的待分析试样的某点，试样受到轰击发出X射线，利用X射线分光谱仪测量该特征X射线的波长(入)和强度的仪器:由于电子束照射面积很小，因而相应的X射线特征谱线将反映出该微小区域内的元素种类及含量。若将电子放大成像与X射线衍射分析结合，就能将所测微区的形状和物相分析对应起来(微区成分分析)，从而确定分析区域(1 }30yll1)的化学组成。电子探针的最大优点也在于此、

　　主机:主要用于产生、调整(汇聚)并加速电子形成高能电子束。在这个电子束的轰击下所产生的特征X射线、二次电子、背散射电子、阴极荧光等信一号与被安装在主机上对应的探测器(用于探测分析特征的x射线所给出样品成分信息的波谱仪和能谱仪;用于探测二次电子信号显示样品表面微区形貌特征的二次电子探测仪;用于探测背散射电子信号分析样品物相分布及形貌特征的背散射电子探测器)相对应。

　　x射线测量计数系统:此系统主要用于控制波谱仪的驱动寻峰和X射线强度的测量。

　　操作和显示系统:用于选择加速电压;调整电子束方向、直径、电流大小焦距;调整电子束扫描方式;选择图像的种类，调整图像;选取放大倍数，观察拍摄图像计算机控制处理系统:包括硬件接口电路和分析软件。

　　EDS分析系统:由能谱仪探头、控制系统和计算机组成用于对样品进行快速的定性分析或定量分析，还可以对电子显微镜图像进行数字化处理，具有简单的图像处理功能。然而该分析系统在进行定量分析时的分析结果仍然不够完善其它辅助系统:真空系统、供电系统、冷却系统等。

　　3电子探针波谱仪控制系统的改进

　　电子探针波谱仪计算机控制系统主要包括计算机控制系统和处理系统，由硬件接口电路和分析软件组成。包括实现样品台位置的设置、样品台的自动控制、驱动控制谱仪的移动，以及谱仪和样品台当前位置的记录，并根据接收记录系统所收集到的关于特征x射线的强度值计算元素的浓度，给出定量分析和定性分析报告、: