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带有象散的电子显微象在富里叶谱面关于轴旋转分辨率的改善

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  电子显微镜的能力是通过它的边界分辨条件来确定的。按照Glaser电镜相干中心照明理论上的边界分辩率为衍射和球差Cs之间的折中,即带有象散的电子显微象在富里叶谱面关于轴旋转分辨率的改善。对一台给定的电子显微镜,球差由极靴的设计和场分布所确定。实际上色差、失焦,电子和机械系统的不稳定,热阳极能量带宽,它的温度和轴外象散,都是要加以考虑的,特别是象散,使电子显微镜的分辩率严重破坏。

  对于颗粒化的结构或物体原素有相应的结构,业满足弱位相反差和中心照明时,可以从Thon衍射象上测量和计算出位相反差传递函数。在忽略轴外象散时所计算的位相反差传递函数在富里叶谱面上沿轴旋转是一致的。而实际上带有象散的电子显微象在富里叶谱面上它的位相反差传递函数的分布就完全依赖于轴向旋转的方向。象散的强弱与电镜的失焦量紧密相关的,从不同失焦量电子显微象的Thon衍射象看到,呈正弦振荡的位相反差传递函数在轴旋转方向上还有零点和负值。利用Linfoot的象质评价理论,可以分析出聚焦系列的电子显微象和轴旋转系统所具有的相同和不同性。

带有象散的电子显微象在富里叶谱面关于轴旋转分辨率的改善

带有象散的电子显微象在富里叶谱面关于轴旋转分辨率的改善

  这儿所使用“Joint Transform”的方法,从理论上计算不同位相反差传递函数的叠加为基础,使同一张相同或两张不同的电子显微象在富里叶谱面上作一次叠加,作一个使象散部分效正,而分辩率在轴旋转方向上折中改进的工作。

  作者:沈晓庆(上海机械学院)

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