H-8100型透射电镜冷却系统所引发的故障及其维修方法3例

　　与大型仪器设备接触时间最长的人应该是该仪器的使用人员，其次是该仪器厂商的专业维修人员。专业维修人员具有丰富的专业知识和高超的维修技能，能解决几乎所有的故障，但要请专职人员来维修，不仅需要预约和等待时间，而且仪器使用单位需要支付维修费用。如果仪器发生了故障，仪器的使用人员能经过一些初步检查或简单处理并排除故障的话，势必能节约维修费用，减少等待维修的时间，从而可以提高仪器利用率[1，2]。有时仪器发生了看起来很严重的故障，且该故障的维修程序可能也很复杂，但也有的故障可能是其它故障引起的，而且维修方法也很简单，可由使用人员自己动手处理。比如本文作者所使用的 H-8100Ⅱ型透射电子显微镜就遇到这种情况，在使用过程中，也发生了一些故障，其中有些故障是与仪器的冷却系统出现异常密切相关的。现选出 3 个例子加以说明。

　　故障 1: 电镜的高真空达不到，电镜无法工作

　　故障现象: 在刚开机时，透射电镜真空系统的机械泵启动，仪器上指示真空状态 的“GUN”、“COL”和“CAMERA”的黄色指示灯点亮。并经过一段时间后这 3 个指示灯由黄色转变为绿色，表明电镜达到了高真空状态。但过几分钟后，这3 个指示灯又变成了黄色，说明仪器的高真空尚未达到，或者说仪器的真空系统有故障( 俗称“掉真空”) 。这时涡轮分子泵控制器面板上的“failure”和“emergency operation”两个红灯点亮。如果关闭电镜电源，尔后再重新启动电镜的话，电镜仍然出现这个故障。涡轮分子泵控制器面板上的“failure”和“emergency operation”两个红灯仍然点亮。

　　故障分析及排除方法: 电镜的真空问题应该是一个大故障，因为透射电镜真空系统的检查和维修都比较复杂[3 ～ 6]，需要专职人员才能检查和维修。在请人来维修之前，进行了一些初步检查和判断。H-8100 型透射电镜的正常启动分为两个步骤: 第一步是将电源开关转至“EVAC ON”位置，这时机械泵启动，仪器左面板上的“EVAC”真空指示灯点亮，经过约 20 ～ 30 min，仪 器 上 的“GUN”、“COL”和“CAMERA”的“VACUUM STATE”绿色指示灯点亮时，表明仪器达到高真空状态。这时可进入第二步，即将电源开关再转至“COL ON”位置，电镜就可正常工作了。如果第一步中的指示真空的绿灯不亮，则仪器无法进入高真空状态。

　　首先从电镜的真空系统入手查找故障位置。H-8100 型透射电镜真空系统是由机械泵和涡轮分子泵组成的。目视检查 3 个机械泵时，可看到机械泵中的油面位置正确，听机械泵的声音，感觉它们处于正常的工作状态。涡轮分子泵控制器安装在直流电源柜中。涡轮分子泵控制器面板上有