本文对用残余声强法修正声强测量的系统误差进行了理论分析，推导了它的误差表达工式，给出了该误差的二元分布图。

提出了一套对椭偏仪的测量误差进行有效修正的方案，设计了一个Windows版的椭偏仪测厚数据处理软件，并在该软件中嵌入了对测量数据的误差进行修正的方法，使椭偏仪的最终测量结果更加精确。制作了30片厚度梯度分布的标准样片（厚度20nm～1μm），用于从“软”、“硬”件两个方面对椭偏仪进行误差修正，使最终的误差小于1％。本文所提出的修正方案具有一定的普适性、实用性。

阐述了激光干涉测量技术是高精度位移测量的最主要方法之一,具有测量范围大、分辨率高和测量精度高等优点.然而,随着测量距离增大,各项误差也随之增大.其中,余弦误差就在大行程激光干涉测量过程中成为一项不可忽略的误差.分析了余弦误差产生的原因,并设计了一套余弦误差修正系统来消除其误差.

柔性三坐标测量臂用于大尺寸工件的高精度检测及逆向工程，是现代制造业产品精度检测的重要设备。如何做好和完善测量臂误差的分析、检测和补偿，成为提高测量臂测量精度的重要问题。提出了用高精度正交三坐标测量机校准柔性三坐标测量臂关节误差的新方法。通过分析测量臂某一关节的所有几何误差，建立其数学模型；利用正交三坐标测量机和测量臂分别对30个标准球（均匀分布在一个圆上）进行点位测量，测出球心的标称值和实测值，建立了该关节几何误差补偿模型；对工件进行点位测量并进行误差补偿。实验结果表明，通过该误差补偿方法，其最大测量误差从0．04mm降到了0．003mm，提高了柔性三坐标测量臂的测量精度，同时验证了该误差补偿方法的正确性和有效性。

激光跟踪仪测距精度取决于激光干涉仪（IFM）和激光绝对测距仪（ADM）的精度，就目前技术水平而言，IFM测距精度远高于ADM测距精度，固此需要对ADM测距误差进行修正。本文采用三次样条函数对激光跟踪仪全程ADM测距误差进行修正，并与线性误差修正方法进行了对比，结果显示三次样条函数能够更好地拟合误差曲线，改善修正后残余误差的均方差，均方差为0．007mm，优于最小二乘直线拟合，从而提高激光跟踪仪测距精度和空间测量精度。

研究了一种新型的绝对长度测量光栅，讨论了其利用条形码结构确定位置以及利用增量式痕道进行细分的工作原理，分析了利用平行于测量方向的刻线进行动态误差修正的方法，给出了误差修正的数学模型。

本文概述了预载碟形弹簧对坐标测量机定位误差、示值误差的影响以及解决的办法.

基于对外差干涉测量信号和参考信号进行光滑滤波处理的方法,提出了一种外差式激光干涉仪非线性误差修正方法.在实验系统中,采用混频技术将两路光频信号降低到通用数据采集系统频率范围内进行同步双通道实时采集;采用改变光传输介质折射率的方法模拟产生纳米数量级微位移.实验结果表明,所提出的修正方法使实验用外差干涉仪测量不确定度由20 nm降低到10 nm.

平行双关节坐标测量机是一种新型非正交坐标测量设备，具有结构简单，精度高，便携等优点。文章首先介绍了平行双关节坐标测量机的测量原理，然后分析了影响仪器测量精度的误差源及误差源的可能修正精度，计算了仪器测量总误差。根据仪器设计精度进行了误差分配，并对误差分配进行了仿真计算，总结了仪器误差分布规律。本文的研究为指导测量机的结构设计和标定提供了依据，为实现平行双关节坐标测量机的测量精度指标提供了扎实的理论基础。

为学习旋转变压器角度转换、测量和通过双通道粗精组合提高测量角度精度的原理和技术,从工程应用角度出发,针对精密无刷旋转变压器,采用混合型单片机C8051F021为处理器,利用芯片内集成的ADC、DAC等实现激励信号产生、正余弦信号测量、轴角计算和双通道粗精组合,完成实时、高精度轴角测量。经实验测试,该装置的测量误差控制在0.05°以内。