激光干涉系统的测量精度会受到系统本身机械结构及光学元件布局的影响，因此采用了耦合差动干涉的方法，使影响测量精度的各种因素尽量由干涉系统自身予以消除，提高了干涉仪的分辨率和稳定性．利用以Heydemann修正模型为基础的误差补偿方法，对干涉信号中存在的非正交误差、不等幅误差及直流电平漂移误差进行了修正．根据多点拟合的原理，提出了减小运算量的新算法．设计了以C8051F005单片机为核心的电路补偿模块，实现了以上3种误差的实时补偿．实验结果表明：通过采取以上措施，该干涉测量系统在10mm的测量范围内取得了10～12nm的测量精度．

阐述了激光干涉测量技术是高精度位移测量的最主要方法之一,具有测量范围大、分辨率高和测量精度高等优点.然而,随着测量距离增大,各项误差也随之增大.其中,余弦误差就在大行程激光干涉测量过程中成为一项不可忽略的误差.分析了余弦误差产生的原因,并设计了一套余弦误差修正系统来消除其误差.

文章先扼要介绍ISO 16063-11中所列3种激光干涉振动一次校准方法,以及用零差式迈克耳孙激光干涉仪正弦逼近法实现加速度的灵敏度和灵敏度相移的校准,然后在此基础上,从原理、结构和使用等方面介绍外差式激光干涉振动一次校准,以及PTB如何用外差式激光干涉技术较大幅度地提高与扩展振动校准频率、校准位移等技术.

激光干涉测量系统在精密测量领域占有重要地位，它对温度变化、大气变化、激光波长变化、机械安装误差和外界振动等比较敏感，影响系统的测量精度和稳定性。针对此情况，该文提出一种新型的激光干涉光路，两光臂呈完全共路结构，使干涉条纹信号具有极强的抗干扰能力；对光路进行抗干扰分析和理论推导；构建位移测量系统，进行系统测试实验和误差分析。实验表明，本系统测量分辨力0.72nm，合成标准不确定度5．2nm（k=2），运行速度0．56mm／s，量程0．01mm。

利用激光干涉与数字图像处理技术以及应用FFT分析干涉条纹方法,分析并解决了测量端面长度标准中条纹图的处理技术,应用这种方法不但提高了测试过程的自动化程度,而且大大地提高了测量结果的精度,并给出了最典型的端面长度标准量块的干涉条纹小数部分的实测结果.

文章介绍了国际标准的激光干涉绝对法冲击校准技术和目前德国PTB正在从事的瞬态冲击力校准系统的研究发展状况,指出加速度的直接复现是实现包括冲击加速度和瞬态冲击力在内的绝对法动态校准的基本前提,因此,这两种绝对法校准技术具有完善的计量原理和相似的计量特点,能够完成冲击传感器和动态力传感器的高精度动态校准.

分析了几种应用于纳米精度测量的光干涉技术工作原理、应用限制及研究现状,包括X射线干涉仪、干涉仪及激光外差干涉技术。

通过阐述激光干涉基本原理，研究激光干涉在振动测量中的应用。详细分析时间平均全息方法、激光散斑干涉技术、激光多普勒测振技术，比较了各自的优缺点，并提出改善激光测振精度的关键问题，指出激光测振技术目前亟待解决的问题和今后的发展方向。

本文阐述两种气体折射率的测试光路.它们是用白光干涉"O"级条纹定位,激光干涉条纹计数原理作光程差补偿测试.便于自动测量.

针对利用激光跟踪仪对数控加工中心进行线性测量成本过高的问题,开发了一种三维激光干涉球杆仪。利用激光干涉法实现距离测量,设计全新测量光路,并通过伸缩杆的被动拉伸实现跟随测量。采用双球铰运动副为激光器的空间姿态调整提供保证,并搭配激光器、镜组微调等装置实现随时对光。利用ANSYS Workbench软件对装置进行建模并验证模型精度。建立机构运动学方程,利用MATLAB对运动空间进行仿真。通过实验验证激光光路,证明了该设计的可行性。