误差修正技术是提高测量设备精度的常用方法,但有时由于设备的误差源太多或误差不易测出,而使得误差修正不完全或无能为力。本文提出一种综合误差修正方法,其基本思想是撇开装置中每项具体误差源所引起的测量误差,而把整个测量装置看成是一个大的误差源,采用一种等价置换的方法测出这个大误差源引起的测量误差,然后在测量结果中修正。将该方法用于实验室高精度热变形测量装置中,结果表明该方法可有效提高测量装置精度和测量数据的可靠性。

本文提出了一种基于时差的超声波测距原理,该原理不需记录超声波的具体发射时间,而是通过测量超声波到达不同位置时的时间差,来计算超声波发射源到接收器的距离.这不仅对超声波测距提供了新的理论依据,对于无线电与光学测量也有一定的借鉴作用.

本文从激光干涉仪的工作原理出发,对激光干涉仪测长中存在的各种误差源构成进行分析,从而提出了测长精度校准的不同方法特点,通过理论分析和试验总结出测长精度校准的科学合理的方法.

全面分析了多坐标测量机在使用中可能出现的误差因素及其影响.多坐标测量机的误差源可分为本机误差和非本机误差,环境因素与测量条件应由标准规定,一切与本机误差无直接关系的误差应由用户自己评定.最后以测杆弯曲的修正为例,对多坐标测量机的系统误差修正作了初步探讨.

误差源是以弱小信号处理为特征的微机械陀螺精度提高的主要制约因素.分析了音叉电容式微机械陀螺由本身工作模式和加工误差造成的两类误差源,并探讨了相应的消除方法.首先采用分离电极方法消除了驱动模态位移电流对敏感模态输出信号的耦合;用半频驱动方法抑制了驱动电压信号通过寄生电容对输出信号的耦合;通过在玻璃基体上开槽减轻了梳齿电容的静电悬浮以及玻璃基体上的电荷累积现象.然后通过对驱动电压幅值的自动调节弥补了由加工误差所造成的驱动电容不匹配,并采用同步解调消除正交误差.分析结果表明这些误差源的消除可提高微机械陀螺的精度水平.

介绍了在该仪器上测量折射率值小于1.76和大于1.76的两种测量方法,给出了以计算机为核心的宽光谱高精度折射率全自动测量仪的基本组成、主要误差源和测控软件的一级数控流图,用该仪器对包括红外材料锗在内的多种样品进行了测量并给出了部分测量结果,结果表明在365.0nm至2600nm和2600nm至10600nm的波长范围内分别获得了优于±3×10-6和±2×10-4的测量精度.

激光陀螺动态测角仪是近几十年来发展起来的高精度、高灵敏度的动态测角系统。为了充分利用激光陀螺高精度的优良性能来提高角度测量的精度，对激光陀螺测角仪系统的结构和工作原理进行了介绍，综合国内外文献中对各主要误差源进行了定性的分析，估算了各误差的大小，由此得到了系统总的测角不确定度约为0．3”。结果表明，量化误差对测角精度影响较大。这一结果对探索进一步提高系统精度的方法具有指导性的作用。

平行双关节坐标测量机是一种新型非正交坐标测量设备，具有结构简单，精度高，便携等优点。文章首先介绍了平行双关节坐标测量机的测量原理，然后分析了影响仪器测量精度的误差源及误差源的可能修正精度，计算了仪器测量总误差。根据仪器设计精度进行了误差分配，并对误差分配进行了仿真计算，总结了仪器误差分布规律。本文的研究为指导测量机的结构设计和标定提供了依据，为实现平行双关节坐标测量机的测量精度指标提供了扎实的理论基础。