基于敏感元件的特性本文设计出了一种MEMS加速度计敏感元件特性测试仪，即利用电容检测电路和基于虚拟仪器的频谱测试仪对MEMS敏感元件的频谱特性进行测试而得出其重要性能参数。电容检测电路和虚拟仪器频谱测试仪分别在实验室内进行了误差分析，电容检测电路的最大非线性误差为0．1277％，频率特性测试仪的幅值最大误差为0．3526 dB，相位最大误差为1．3656°。

为了精确、高效地测量微机械加速度计的各项性能指标,并尽可能地降低地线干扰,系统采用DAQ-2213数据采集卡采集加速度计输出电压,使用多个独立电源及差模接法来降低地线干扰;温度敏感元件采用Pt100,电阻到电压变换电路采用三线制接法,选择PCI-（A）9114数据采集卡采集变换电路输出的电压值;采用Labview7.0接口函数实时显示加速度计输出电压和温度值,并输出有图表的Word文档。系统经过标定,输出电压精度为40μV,温度精度为0.277℃。实验表明,系统能实时测量微机械加速度计的输出电压和温度值,而采用独立电源和差模输入可有效减少各路信号之间的干扰。

为了实现了电容式传感器和其他信号处理电路之间的接口,提出了一种电容式传感器接口电路。该接口电路基于开关电容技术,采用采样电荷结构,并在其前端读出电路采用采样开关噪声消除技术,在0.35μm 2P-4 M CMOS标准工艺下设计并流片实现,且特别适用于开环或力平衡闭环电容式微加速度计和振动角速度陀螺仪应用。测试结果表明：在1 MHz的采样时钟下,该接口电路取得了约5.35 aF的电容分辨率和约0.173 aF.Hz-1/2的噪声基底。

为了提高光电跟踪控制系统可靠性和实时性，设计了一种基于FPGA的控制系统。该控制系统以一块FPGA芯片为核心，主要完成传感器信号处理，控制算法实现，脉宽调制方波生成，与上位机通信等任务。采用Xilinx公司的ISE7．0平台进行开发，并用层次化和模块化的方式进行设计。实验结果表明这种设计方法使系统以比较低的成本获得了很高的处理速度，从而提高了系统的性能。

本文介绍了一种由微机械加速度计做测量单元、单片机作控制单元的系统.该系统体积小、精度高、稳定可靠,利用它对抽油机进行测量和控制,可以达到提高效率、降低生产成本等要求.

集成加速度传感器在国外已广泛用于汽车安全性及性能测试，本文介绍了一种力平衡式硅微加速度传感器的原理，结构，并在国家标准振动测试中心对它进行了标定，首次用该传感器系统做了两种车型，５种车速行时的舒适性评价实验。结果表明：适于装在汽车内部，进行各种振动舒适性评价，且价格低廉，结构简单，有广泛应用前景。

为定量研究梳齿式微加速度计闭环系统的性能和参数设计准则，通过静平衡方程得到闭环系统输出公式，由此公式推导出灵敏度、最大预载、最佳预载、量程、稳定性、线性度、分辨率等公式。分析了机械和电气参数变化对性能的影响，根据性能指标提出参数的优化准则和设计公式。

微硅加速度计是近年来发展起来的新型器件，在结构设计阶段必须对其进行力学分析，以期对使用条件下的摆片位移、应力等作到心中有数。本文采用有限元分析方法对挠性摆式微硅加速度计进行有限元分析，其中包括对未封装及封装后实体单元进行敏感轴位移、侧向位移、横向灵敏度、受力情况等分析。分析结果表明所设计的微硅加速度计符合仪表性能要求。

在传感器技术的发展过程中,传统模拟输出传感器由于具有一些固有局限,正在逐渐被数字输出传感器所取代.数字技术的应用使传统传感器成为智能传感器,并具有集成化、智能化、网络化、系统化等新特点.介绍以传统模拟传感器技术为基础,在惯性测量器件--微机械加速度传感器上集成数字接口,使之成为智能化传感器的一种设计方案.