2009年3月，德国Wunstorf和GE传感与检测科技的菲尼克斯X射线（phoenix｜x—ray）家族推出了v｜tomel｜xL300工业CT系统，这是全球第一款可以通过300kVX射线管获得1μm分辨率的CT系统，若采用温度稳定的GE数字平板探测器，可获得更高对比分辨力，对于因结构复杂而不能使用光学或坐标测量机检测的部件，

文章概述了国内外双频激光干涉仪产品的现状,介绍了近年来双频激光干涉仪向高分辨率、高精度、高测速等几个方向的发展趋势.

描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜（ＳＮＡＭ）。其原理是利用谐振频率为１ＭＨｚ的未封装伸长型晶振作为微力传器逼近样品表面，在此过程中晶振受到流体阻尼，振动特性发生变化，通过检测振动幅值的变化即可获得样品表面形貌的信息。在分析了ＳＮＡＭ的检测机理基础上，设计了ＳＮＡＭ系统，测量时垂直分辨率可达到纳米级。

<正> 虽然理论上很多单色仪在软X射线波段的分辨本领E/ΔE可以达到10~4量级,但实际上只有几种单色仪能达到这么高的分辨率水平,它们是球面光栅单色仪、SX—700型单色仪及这两种单色仪的改进型。意大利的Trieste同步辐射光源上的精密电子光化学分析项目将用这类高分辨率的谱仪进行光电子谱实验。在这条光束线上采用了改进型SX—700单色仪原理,其结构由Jark提出,它能与波荡器很好地匹配,并在100eV～2000eV范围内做最佳调节。这条束线的所有光学元件的安装于1993年底完成,并在次年一月

组合孔径光学系统是一种新型的光学系统,其主镜由多个小口径的子镜拼接而成。这样的拼接式光学系统能够满足口径大、重量轻和可以折叠的要求。传统的光学系统受口径的限制,无法提高分辨率。组合孔径光学系统用易于加工的小口径光学元件拼接成难于加工的大口径光学元件,提高了光学系统的分辨率。组合孔径光学系统的主要技术问题就是它的装调和检测。本论文结合组合孔径拼接项目,总结组合孔径光学系统的装调过程,介绍了具体的装调及检测步骤,用ZYGO干涉仪测量光学系统波前图,根据波前图和ZYGO干涉仪上的数据对光学系统进行辅助装调。装调后的系统经检测,用CCD相机观察分辨率可达到68lp/mm,达到了相机的分辨率极限;用显微镜观察系统分辨率可达到96.7lp/mm,满足了项目设计指标要求。

阐述了一种新型感光材料分辨率测定仪的原理，重点讨论了仪器参数的选择和控制显示系统的原理和组成，并给出了装调结果，该仪器光学分辨率高，检测速度快，自动化程度高，新型的液晶汉字显示使各种操作完全并幕菜单选择完成。

提出了一种高分辨率，高频响的光栅纳米测量细分方法－动态跟踪细分法。它综合了计算机正切细分法细分份数大，电阻链细分法工作速度快，频响亮的优点，电路原理清晰，结构简单，能够同时适用于动态和静态测量，较好地解决了光栅纳米测量的信号处理过程中的高速度与高分辨率，高准确度的矛盾。实验表明，动态跟踪细分法能够在400细分时实现100kHz以上的频率响应速度，配合信号周期2μm的光栅传感器，可以得到5nm的测量分辨率，为光栅纳米测量技术应用于实时测量和实时控制打下了良好的基础，是一种非常有发展前途的新的莫尔条纹细分方法。

本文将在综述高分辨率定量电子显微学及相关技术发展现状的基础上，讨论材料结构和缺陷的原子尺度直接观察与计算机模拟对比研究的意义及影响高分辨率定量电子显微学测量结果的几种因素的研究现状。

探头是能谱分析系统的关键部件。探头性能好坏决定着能谱分析系统的分辨率和探测效率的高低。目前世界上探测器制造技术发展很快，最新推出能谱分析系统探头中所采用的晶体在材料、工艺和探头的工作原理、制造技术等方面以及探头中的电子线路比八十年代都有了很大的进步，并且优化了元器件，增加了一些诸如温度补偿等电子线路，使探头的性能日趋完善;甚至有的探头可以工作时加液氮，不工作时不加液氮;还出现了完全利用电子元器件制冷并恒温而不用加液氮的探头。其目的是力图完全抑制晶体内部产生反扩散、提高探头的分辨率和探测效率、克服温度和其它各种内外因素对探头的影响、增加探头的可靠性和稳定性、延长探头的使用寿命、用户使用和维护探头方便。但是，我国七十年代末至八十年代中期进口的能谱分析系统现在已经使...

显微技术是一门对物质微小区域进行化学成分分析、显微形貌观察、微观结构测定的显微分析技术，广泛应用于各科学领域。近年来出现的近场光学显微镜，是对普通光学显微镜的一种改进，而原子力显微镜、声学显微镜，则是人们不断开发其他显微技术的成果。这些新型显微镜在生物医学领域中都有着非常广泛的应用和迅猛的发展。