简单介绍了PVD溅射系统和溅射原理．实验分析了PVD溅射技术在微晶玻璃基片溅射沉积Cu膜时，沉积速率随相关工艺参数变化而变化的几点规律．给出了用PVD溅射技术沉积的Cu膜的表面形貌（AFM）图和显微镜照片．

应用MI公司最新发展的磁驱动轻敲模式（MAC mode）对体外培养成纤维细胞系3T3细胞进行在位成像研究。分别用力常数为0.95 N/m及0.03 N/m的微悬臂进行磁驱动轻敲模式成像,并与接触模式进行比较。同时研究了固定细胞与活体细胞之间的形貌差异。结果显示,利用上述两种微悬臂探针,磁驱动轻敲模式均可获得高分辨像。与接触模式相比,磁驱动轻敲模式对活细胞的影响较小,在细胞膜表面微结构及细胞内亚结构成像方面,有明显优势。而接触模式由于其施力方式,使活细胞应力纤维应激性绷紧,更适合于对活体细胞应力纤维的成像研究。固定细胞与活细胞表面形貌存在较大差异,在生理环境下,进行活细胞检测更能了解细胞的真实状况。

<正> 自一九八五年,Binnig与斯坦福大学的Quate和IBM公司苏黎士实验室的Christoph合作推出了世界上第一台原子力显微镜(简称AFM)以来,AFM的研究及应用迅速扩展。它不仅象扫描隧道显微镜那样能从原子尺度上对导体、半导体表面而且还能对非导体的表面进行成像,拓宽了STM的应用范围。

扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）和原子力显微镜（ＡＦＭ）由于具有原子量级的分辨率，所以在表面物理、化学、生物等领域得到了越来越广泛的应用。我们研制了一个ＡＦＭ／ＳＴＭ系统，它利用隧道电流检测微悬臂的位移，既可用作ＡＦＭ，又可作为ＳＴＭ。本文介绍了这个系统的微悬臂的设计和研制。实验表明，这种微悬臂使系统可以达到纳米量级的分辨率。

借鉴原子力显微镜和相关显微镜的微客研究的制样方法，应用－三乙氧基硅烷－云母作为微管的ＡＦＭ成象和性质研究的衬底，获得了满意的结果。本方法对进一步研究微管的性质和动力学研究非常重要。

用原子力显微镜对不同工艺下获得的超光滑反射镜基片进行了功率谱密度(PSD)检测,并对结果进行分析,以指导光学元件加工。

讨论了激光陀螺超光滑光学反射镜基片的加工和检测技术,并给出了超光滑光学基片的非接触光学测量仪和原子力显微镜的测试图。还论述了原子力显微镜测试的准确性以及超光滑光学表面的分形特征。

根据SIM和AFM的扫描原理,通过CAM设计了一种过载保护装置,使STM和AFM在测试过程中,对超过测试高度的样品停止退针,以免损坏仪器,弥补了仪器设计的不足.

原子力显微镜作为一种新型的表面表征手段已经得到了各个方面的应用,本文探索了AFM在DNA表面结构中的研究方法,讨论了AFM在研究DNA中优势.

文中阐述了基于自行研制的原子力显微镜(AFM)的纳米刻蚀加工方法,研究了针尖上的载荷大小和扫描次数对加工深度的影响,利用AFM的微探针在氧化铝(Al2O3)材料表面加工出纳米结构,验证了该加工方法的可行性.实验结果表明基于AFM的纳米刻蚀技术可作为加工纳米器件的重要手段.