国家同步辐射实验室反射率计误差分析
中国科技大学国家同步辐射实验室“光谱辐射标准与计量实验站”上的反射率计主要用于测量各种光学元器件在X射线、真空紫外波段的反射率。为保证测试结果的精确性和可靠性,在大量实验数据的基础上,结合必要的理论推导,对反射率计测试误差来源及影响程度进行了分析,确定影响反射率计测试精度的主要因素包括光源、探测器、样品安装等。总结了光源波动、探测器损坏的几种典型形式,定性、定量地分析了这些因素和样品安装、光斑尺寸对测试精度的影响,针对性地提出了应对办法,把测试误差控制在2%以内,从而有效地保证了测试精度。
合肥同步辐射反射率测量装置
分析设计并研制了同步辐射计量光束线的反射率计系统.该反射率计工作波长5~100 nm,角分辨率0.005°,样品台可做六维调整,样品与探测器采用同轴扫描馈入机构,大大提高了扫描运动及测量精度.样品和探测器均具有平移和旋转两种功能,并且既可独立运动,又可θ-2θ同步联动,样品和探测器均可退出光路,通过束线差分系统和反射率计差分馈入系统可充分保证10 -6 ~10 -8 Torr的真空度.对样品的反射率测试可分波长扫描和角度扫描两种方式.
真空紫外反射率计用于BRDF的测量
介绍了一种真空紫外反射率计,采用间接测量方法,在该反射率计测试聚四氟乙烯漫反射板的双向反射率分布函数,正入射时该聚四氟乙烯漫反射板15°到75°的双向反射率分别布函数偏差为13%。
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