高新技术在光学计量仪器中的应用

　　众所周知，光学计量仪器包括端度计量、角度计量、平直度汁量、投影计量、表面粗糙度计量及测量显微镜等系列产品，它是)”义的机械制造业的基础测量仪器，虽然已有五十多年发展历史，但至今在科学研究、技术开发、工业生产、军事发展等各个领域中起了重要的推动作用。

　　随着计算机技术的发展，光学计量仪器也和其它仪器一样，成为光机电算机一体化产品。一力于和激光，CCD等光电子器件、光导纤维、软件开发等高新技术结合，使近代光学计量仪器在精度上卜了一个新的台阶，为计量自动化提供了必要的条件近年来，各系列产品发展不一半衡，现就突出的几个方面作一概述。

　　表面粗糙度测量仪器

　　干涉计量技术在近几年中的重点发展是开发表面粗糙度测量仪器(表而凹凸<0.8mm)，因为当前高技术发展，迫切要求另件的使用性能好，而表面粗糙度测量仪器，是直接评价被测件表面质量、加工技术的重要指标。例如高密度记录磁盘、大规模集成电路元件提高集成度等。目前的产品表面轮廓高度的测量分辨率达到l入的精度，横向分辨率达到2群m左右，比探针式表面轮廓仪大大前进了一步。数字式轮廓显微干涉仪通过显微镜的目镜可以看到被测表面的干涉条纹，此干涉条纹的形状和位置分布反映了被测表面的粗糙度和局部面形，干涉图由CCD列阵接收，通过摸拟转换并输入计算机，计算机控制干涉条纹移动，光电探测器记录干涉图象，利用软件计算出被测表面的均方根面形差，峰谷差、表面自相关函数等。激光干涉用于轮廓测量的最新产品要推英国R.T.H(RankTaylor一Hobson)公司的Talysarf。它的动态测量范围较传统的轮廓仪大得多，可达士4mm，激光干涉仪装置在驱动箱内，驱动箱置于立柱上，通过电动机可以上下移动，可以对平面、凹面、凸面及这些面组合的复杂面形进行测量，由微机将所有测量信号(参数)存入内存中，也可使被测部分局部放大轮廓形状，显示出细微结构。

　　由Rodenstoek精密光学公司生产出一种非接触式表面轮廓测量系统，它采用RM600激光测头，其侧量范围为Znm一600拜m，与PC机联用，可作二维或三维表面轮廓测量。随着科学技术与生产的发展，非接触粗糙度在线测量已在生产中应用。它是采用半导体激光束聚成光点进行扫描，分辨率在Inm以下。

　　近二年，日本推出SE一30AK三维表面粗糙度测量仪，它采用波形畸变小的相位补偿式滤波器，同时能打印输出一维测量中的各种表而粗糙度参数，测量面积99.9x100mm，纵横向倍率分别为100，000和1000。但是触针法仍是日前可靠性最高、用户使用最广泛的测量粗糙度的方法，针头是用比LP唱针还尖的小曲率半径金刚石材料做的。英国新近发展的Surtronie10袖珍式表面粗糙度测量仪，重量只有130克，传感器和触针一、驱动机构、电池、显示和控制器个都装在一个小盒内，只要按钮，即可获得表面粗糙度数据并显示。使用者一方面要求计量仪器度测量多功能化另一方面近年来计量技术出现网络化，即从各种计量设备中将测得的数据接到台式计算机卜并将这些计算机连接到起网络枢纽作用的中共计算机土，数据被贮存在中央计算机的磁盘上，这种计量网络系统可大大减少测量另件的次数，藉以保证另件加工质量，提高劳动生产率。