测定系统分辨率测定极限探讨

    1 国内外感光材料测定技术综述

    国内外感光材料发展的重要方面是高分辨率感光材料。这样,能检测感光材料的高分辨率就成为感光材料发展的至关重要的保障。与之相对应的是感光材料质量鉴定的国际标准[1]和国家标准[2]也相继出台,使保障感光材料质量有法可依。

    在我国,感光材料检测手段严重滞后感光材料的发展。近十几年来,国内各生产厂家和质检单位一直使用原有感光材料分辨测定仪检测感光材料的分辨率质量,这种分辨率测定仪最高仅能检测500线对/mm分辨率的感光材料,而目前分辨率超过500线对/mm感光材料已经常见,致使原有仪器无力完成国家标准[2]要求的分辨率在500线对/mm-1400线对/mm中高段分辨率测定任务。

    在国际上,通过检索文献(德温特世界专利,CA和EI)未发现国外有关高分辨率测定仪的文献报道[3]。此项表明,国际上尚无高分辨率测定的商业仪器。因此,研制适应国际和国家标准要求的高分辨率测定仪是大势所趋,而研究此种测定仪具有的最高分辨率特性,就成为一项迫切解决的课题。

    2 测定系统分辨测定极限探讨

    到底测定仪最高分辨率为多少,有人提出用此仪器来测4000线对/mm的感光材料,测定仪能否担当此任?为此应探讨测定仪的最高极限分辨率问题。

    2.1 影响测定仪分辨率因素

    在成象系统中,分辨率是衡量分开相邻两个物点的象的能力,在测定仪中,照明系统、标板、缩拍系统以及胶片诸因素,都将对测定仪分辨率最高极限有贡献。

    2.1.1 标板

    分辨率标板最高频率值就代表它的分辨率极限,它是提高测定仪极限分辨率的基础,是测定仪的关键器件。全国感标委推荐的分辨率标板其最高分辨率如前所述为5612线对/mm,国外产品极限分辨率最高可达228线对/mm。可见差距之大,能缩短这个差距,即提高标板的极限分辨率,将起决定性作用。从目前国内电子光刻技术看,已今非昔比,有把握将最小刻化间距缩小到2Lm,这样最高极限分辨率可达

    考虑最小刻化长及最后真空刻镀等影响,实际最高极限分辨率要低于这个值。

    2.1.2 照明系统

    照明光源的相干性对分辨率检测有一定影响。当光源为相干光时,分辨率与标板位相有关;当光源为非相干光时,分辨率只与标板强度有关,而与位相无关;当光源为部分相干时,分辨率既受标板位相影响,又受标板强度影响[15]。即当被观察两点同位相时,相干光照明分辨率最差;当两点的相差为P/2时,相干与非相干光照明分辨率相等;当两点相差为P时,相干光照分辨率最佳。