电子显微镜电路结构分析

　　检修电路包括故障诊断和电路修复，其中最花时间和精力的是故障诊断，往往真正的修正工作是轻而易举的，要从亿万个元件中找出损坏元件不是一件容易的事，除了要有精密的测试仪器之外，更重要的是熟悉仪器电路和科学的检修方法。方法得当，可以事半功倍，迅速找出故障点。当然，熟悉仪器电路有经验的检修人员，可以运用各种方法，不必循规蹈矩，而直达故障点。本文主要介绍电子显微镜电路的组成以及检修电镜电路儒要掌握的基本常识。从电路功能上讲，电子显微镜电路可以分为电源电路、高压电路、电磁透镜电路、扫描电路、电子束对中电路、真空程序电路、照相记录电路、显示电路等部分。为了使各部分电路的调节和控制更加自动和精确，采用了微型计算机控制，它的末梢深入到电路所有分支，并将越来越深入。因此，微机电路也成为电镜电路的一个组成部分。

　　1电源电路

　　电源电路给全机提供动力，即交流电源和直流电源。电镜的一部分电器，如机械泵、扩散泵、空气压缩机等用交流作电源，其它电路都以直流作电源。交流电经变压器降压后，整流滤波形成直流电源。其所用市电交流电源电压波动必须小于10%，再用交流稳压器稳定到0.4%以下。直流电源电压的稳定要求比较高，根据不同用途，在之间。

　　2高压电路

　　高压电路是电子显微镜的中心环节，用于显微成像的电子束就是在直流高压静电场中产生的。高压电路包括高压发生器、灯丝控制电路、偏压控制电路三部分，它们分别接至电子枪的阴极、灯丝和栅极。在透射电镜中，高压一般为数百千伏，如JEM-100CX、H-600为l00kV、JEM-200CX、H-8000200kV，高压透射电镜则可达到1000kV以上。扫描电镜的高压比较低，如S-570为30kV。在使用中根据不同样品可以进行调节，以上数字为最高调节值。

　　3电磁透镜电路

　　在透射电镜和扫描电镜中，电子枪发射出的电子束都要进行会聚，形成适合照射样品的电子束斑;在透射电镜中透过样品的电子束在镜筒中还要经过多次成像，最终到达荧光板，成为放大像。这些会聚和成像功能都是靠由线圈组成的电磁透镜来完成的。为了使图像清晰而稳定，要求加在它上面的直流电压高度稳定，稳定度达;为了能灵活地调节，以改变图像的放大倍数和精确聚焦，必须能方便而准确地改变电磁透镜的电流。电磁透镜电路的任务就是使电磁透镜稳定而可调。

　　4扫描电路

　　扫描电路是指在扫描电镜中控制电子束在样品上作光栅扫描的电路，它是扫描电镜的关键电路，扫描电镜的名称即由此而来，扫描信号发生器产生X方向扫描信号和Y方向扫描信号，并将其馈送到扫描电镜镜筒的偏转线圈上，使电子束在样品上进行光栅扫描。这个扫描信号也同时传递到操作台的观察CRT(供观察用阴极射线管)和照相CRT(供照相用阴极线管)的偏转线圈，并在它们的荧光屏上形成光栅。这种扫描电镜扫描信号的频率和幅度是可变的、由此而引出图像放大倍数的调节和扫描速度的调节，以及缩幅画面显示和分割画面显示等功能。