紫外窄带滤光膜的镀制

　　前言

　　在应用薄膜光学中，滤光膜虽然不如增透膜和反光膜那样用得广泛，但它在整个光学领域却非常重要。光学、光谱学、激光、天文物理学等领域几乎一离不开各样的滤光膜。滤光膜的设计和工艺标志着当今光学薄膜的水平。

　　只允许光谱中的某一波段通过，而对其余波段均滤除掉的滤光片通称为带通滤光片。带通滤光片又可粗略地分为窄带滤光片和宽带滤光片两种。其光谱透过率曲线如图1所示。

　　膜系

　　在光学薄膜技术中，不同类型的膜都是由不同的“凑系”决定的，膜系就是给出不同折射率的光学薄膜材料如何按厚度进行组合的问题。一般可按具体要求进行计算，其　　过程比较复杂，一些较通用的膜系已经作了详细研究。工艺人员可很据情况选用。用于紫外区的全介质滤光片有简单的法布里一一泊洛型和较复杂的多半波型两类。

        1。全介质法布里—珀路滤光片

　　这种滤光片是由一间隔层连接的两个多层介质反射膜而成，因为当层数给定时，用高折射率层作最外层将得到最大反射率，所以这种滤光片有如图2所示的两种基本类型。

　　对高折射率间隔层，通带半宽度表示式为

从(9)式可看出，减小半宽的途径是增大m和R，但是它们都是有限的，因为全介质多层反射膜只在有限区域是有效的，旁通带随功的增大而靠近主通带，越近越不好滤除。同时。大于3的滤光片常常是不成功的，它增加了间隔层的粗糙度，一般M只取1或2。反射板的反射率增高也有限。层数增多是提高反射率的有效方法，但随之1万来的是吸收加天，从而使值透射率T.max下降。

　　如果间隔层不包括在内，，每个多层反射膜的高折射率层的总数是x，整个滤光片的透过率对应高折射率材料的间隔层:

　　将几种膜堆的;春几计篡结果列于表1，从表中可看出，在层数和干涉级次相同的倩况一下，高折射间隔层的带宽较窄。但是它的透过率较之低拆射率间隔层的要低些。也就是说带宽和透过率是相互矛盾的。

　　2.多半波滤光片

　　简单的全介质法布里----珀洛滤光片的光谱透过率曲线不够理想，底下太宽，顶部太尖，透过能量的一半在半宽之外，中心位置极难挖制，一般希望熊傀犬谱透过率曲线近乎形矩形。

　　多个周谐嘟路相锅食时，合成的频率曲线较之单个的就矩形性好些。对法布黑一拍冷滤光片也有相似的情况，将两个以上的滤光片串起来，性熊今得到改每。其基本精构形式是:反射膜}间隔层}反射膜卜··…{反射膜。