<正> 前言 在应用薄膜光学中,滤光膜虽然不如增透膜和反光膜那样用得广泛,但它在整个光学领域却非常重要。光学、光谱学、激光、天文物理学等领域几乎离不开各样的滤光膜。滤光膜的设计和工艺标志着当今光学薄膜的水平。

随我电信息技术的飞速发展，为捕捉高速运动目标的信息，提出了研制型列阵滤光器的新课题。给出了可见光七通道和可见／近红外十通道的研制结果。滤光膜系采有导金属－－介质膜。文中详尽推导了膜系设计的精确求解公式，并对通道的技术指标和镀膜方式进行了阐述，还介绍了国内外相关的研制情况。

依据材料的质量吸收系数和波长的关系，选择Cr和Al设计和制备30．4nm自支撑滤光片。在制备时以NaCl为脱膜剂，以热蒸发方式蒸镀Al，以电子束蒸发方式蒸镀Cr，制备了30．4nm的Cr／Al／Cr自支撑滤光膜，并对滤光片的表面缺陷进行了分析。通过显微镜观察，滤光膜均匀纯净，无明显针孔。Cr／Al／Cr自支撑滤光片在合肥国家同步辐射实验室进行了测量，Cr／Al／Or厚度为5nm／500nm／5nm和12．5nm／500nm／12．5nm的滤光片在30．4nm波长处的透过率分别为7．6％和4．6％，透过率曲线和理论计算基本一致。用紫外分光光度计测量得滤光片在200-800nm波长范围的透过率小于0．02％，满足使用要求。