锥形表面反射波前干涉术

　　在高能激光器设汁中.提出采用新的先进的光学元件‘具有典型代表的元件有锥面、反射式轴向镜(refaxicon)和W形锥镜(waxicon ) 。这些光学元件i不属空问不变(等晕)光学系统，　　因为迁向曲率半径以及径向的光学能量随入射到光学表面的光线高度而变化。这些光学元件的非线性特性不可能用典型的线性等晕光学系统理论来论述。

　　这些元件的非线性特性要求对干涉术进行特殊的考虑。通常用三种干涉仪作表面千涉测量仪，即台曼一格林千涉仪、剪切干涉仪和斐索于涉仪。除剪切干涉仪外，所有的干涉仪都要求高质量输入波前和高质量参考表而，用多次曝光干涉图和三个近于相同的参考面.表面测量量可能达到的精度约为入/100。

　　这些干涉仪中的新的电子读出系统可以高速判读条纹图形.例如.外差干涉术和相移干涉术。

　　所有千涉仪有一个共同的要求，即干涉波前必须是球面。因此，险验非球面表面要求附加光学元件零透镜. (null lens)，它可把非球面波前转换成球面波前。干涉仪中的零透镜表示另一个参考表面，通常它的精确面形是未知的。因此，在接近平面表面干涉术中，要求几个近似等同的零透镜以获得非球面光学表面的精密干涉测量.

　　现在，在非球面光学表面干涉术中已经成功地用全息术代替零透镜。由于非球面的形状是已知的，所以可用计算机产生必要的全息图。　但是.计算机产生要求的全息图在检验非球面方面会遇到困谁。

　　最近.已有报道高分辨率非干涉表面i测量方法。用高精度和高精密读出电子系统测量反;射细激光束表面的形状。表面形状测量精度还正负2nm。

　　细光束干涉仪将作谁形光学元件的一种计量工具。它是扇形轨迹干涉仪改进而成.适于测量高精度反射表面的面形。与上述干涉仪不同，它既不要求高质量大孔径输入波测量大孔径光学系统，也不要求参考表面。因此，细光束干涉仪适于测量球面和非球面光学元件的而形。

　1.　傍轴域的反射

　　为了确定非球面光学元件反射的傍轴光束特性，考试非线性轴向反射镜元件.见图1。

　　光学表面对A一A旋转轴是旋转对称的。在轴向反射镜过细光束的光线入射点在迪卡尔坐标系统.z轴与元件表面法线一致.旋转轴在 y-z面。

　　在推导中用如下的符号规定:

　　(1)如果目标和图像都是真实的，则物距和像距都是正，如果目标和图像都是虚拟的，物距和像距为负。

　　(2)测量与z轴所成的入射角.顺时针角度测量值为正值，而逆时针侧量角度值为负值。