实用型扫描透射附件的研制

　　扫描透射附件早已有厂家研制生产。就目前所见产品可分为两类.一是在样品台下面加接透射电子探测装置;另一类为简易型，它由一管状样品杯及一个约朽度的反射面构成。显然由于前者增加一套检测装置，不仅仪器结构复杂化且价格也较昂贵;后者虽较简单、利用打在斜面上的透射电子产生二次电子、然后检测成像。但是，由于对散射电子吸收极差且二次电子信号也较微弱，所以成成像质量不好，几十至数百倍图像尚可以，千倍以上则较模糊。因此，这种产品不受用户欢迎，几乎步人淘汰境地。

　　我们进行了如下五项改进:

　　(1)用100~200微孔光拦代替上述3~吸收管并利用仪器现有调节旋钮设计了一套准x、y系统，以这到达到光拦对中目的;

　　(2)采用全吸收办法、不让样品反射电子干扰成像;

　　(3)对透射样品采取防震措施，以改善高倍像脉动成像障碍;

　　(4)对二次电子检测器的低压加速电极形状稍加改进以更加适应透射附件需要而又不影响一般扫描电镜样品工作;

　　(5)采用准点状灯丝、以减少束斑直径，提高附件分辨率。

　　经上述改进之后成像焕然一新，不仅数千倍图像极为清晰，1~2万倍图像质量也极佳。

　　诚然，由于一般扫描电镜分辨本领仅30~60埃，其成像质量无法与高中档透射电镜相比拟。但是一般扫描电镜装上这种实用型透射附件，在2万倍以下均可拍出极为清晰照片，这样等与增加一台低档透射电交镜的作用。

　　作者：李统平 李红艳 蓝盛银(同济医大基础郑电镜室)(华中农大电镜室)