部分国家/地区支持推动MEMS发展的举措

　　0 引言

　　微机电系统( MEMS) 是伴随着集成电路、微细加工技术和超精密机械加工技术发展起来的，一般认为它是以微电子、微机械加工技术为基础，研究、设计并加工制造具有特定功能的微机械，包括微结构元器件、微传感器、微执行器和微系统等。作为微纳制造技术领域发展最为成熟的方向之一，MEMS 在航空航天、汽车工业、家用电器、精密机械、生物医学、环境保护、通信以及军事等领域有着广泛的应用潜力，成为世界上主要国家和地区竞相争夺的技术制高点之一。各级政府和组织机构纷纷出台了一系列的政策措施，用以推动 MEMS 的发展^[1-3]。

　　1 推动 MEMS 的举措

　　1. 1 制定发展路线图

　　欧盟在 MEMS 路线图研究方面有一定的工作积累。“传统技术和微纳米技术集成改进生产工艺”项目( IPMMAN) 组在第六框架下得到欧盟委员会资助，2006 年发布了“微纳米制造路线图”( Roadmap forMicro- and Nano-manufacturing) ，重点包括微纳元件的结构和加工技术、多功能微纳设备的组装和集成，以及可扩展可重构的微纳智能平台和系统等^[4]。IPM-MAN 组现为欧洲微纳制造技术平台( European Tech-nology Platform for Micro- and Nano-manufacturing，MINAM) 的成员之一。2007 年，比利时工业技术联合会( Agoria) 推出“孕育新一代生产系统的欧洲机电一体化研究路线图”( European Mechatronics for a NewGeneration of Production Systems———The Roadmap) ，其中包括微系统技术设备的集成等与 MEMS 相关的内容。2008 年，MINAM 发布“微纳制造战略研究议程”( Micro-and Nano-manufacturing Strategic ResearchAgenda) ，涉及微纳器件制造技术、微纳制造系统与平台等^[5]。2009 年，MEDEA + 项目组发布了“欧洲设计自动化( European Design Automation，EDA) 路线图( 第六版) ”，包括 MEMS 电子设计自动化等^[6]。

　　MINAM 于 2006 年 9 月开始启动，2008 年初正式成立。该机构发布的微纳制造技术前景展望总结了其战略研究议程的要点，确定出微纳制造发展的新趋势，提出未来纳米制造将重点关注: 1) 高品质纳米构筑和涂覆工艺与设备; 2) 高品质表面功能化和纳米分层工艺和设备。在微器件制造领域，将来的发展重点: 一是微制造工艺技术; 二是适于批量生产的微制造工艺链; 三是多功能、多材料介观、微观装置的微装配工艺。未来几年微纳制造系统和平台的发展前景包括以下几个方面: 第一，微纳制造系统的设计、建模和仿真; 第二，智能的、可升级的和适应性强的微纳制造系统( 工艺、设备和工具集成) ; 第三，新型灵活的、模块化的和网络化的系统结构，以构筑基于制造的知识。