共光路外差干涉仪具有很高的分辨率,但因为安装、调试误差会产生非线性误差,影响系统的测量精度.所以着重分析了影响激光外差计量精度的4个关键因素,即频率混叠、不同被测金属的相位跳变、被测表面的倾斜及物镜的数值孔径;利用激光外差及矢量分析理论,深入研究了频率混叠误差和相位跳变误差的成因、变化规律,并讨论了提高测量系统精度的有效措施.对正确设计和调试激光外差测试系统、提高测量系统精度具有重要意义.

为了探讨了振动流休床中颗粒的流体力学行为，在振动流化床常温实验装置上，以橡胶颗粒为试料，研究了较低民率下振动强度，床层高度，气速等参数对振动流化床床层压降的影响，分析了起始流态化速度随床层高度和振动强度改变的变化规律，并把实验结果同文献于尼龙１０１０的实验结果进行了对比，得到了有益的结论，对橡胶颗粒振动流化床中流体力学行为的研究可为低温粉碎中橡胶颗粒的低温气固热研究出合理的建议。

太阳X射线-极紫外射线（X-EUV,X rays-EXtreme Ultraviolet）成像望远镜是我国专门服务于空间天气预报研究的太阳短波成像监测仪器,望远镜工作在0.4～10 nm的X射线波段和19.5 nm的极紫外谱段,能够提供全日面、高分辨率的成像观测.波长选择装置是该望远镜的一个重要子系统,可以增强望远镜动态响应范围,有助于获取更多的反演日冕等离子体参数,这些参数可用来诊断日冕活动.该装置的运动控制具有低功耗的特点,能够满足空间应用环境的特殊要求.其中,步进电机精位置控制是设计的重点,有2种光电编码矩阵可以用于位置检测,从工程可实现角度优选出其中一种,并且从工程可靠性角度分析了该光电编码矩阵的故障模式,提出了在轨故障处理的预案.

设计了一种闭环反馈差动式双FP腔的微光机电（MOEMS）加速度计，介绍了其工作原理及系统构成．利用惯性敏感单元将对载体加速度的测量转变为对载体位移的测量，利用光纤自聚焦透镜的端面与质量块组成的FP腔测量载体位移．为了提高系统的测量灵敏度和抑制温度等环境因素的影响，设计了一种差动式双FP腔测量机构．为提高微加速度计的输出线性度和动态测量范围，提出了采用静电力平衡技术构成闭环加速度计．建立了其数学模型，对所设计的加速度计重要参数指标——灵敏度、敏感头受载、固有频率等一一进行了详细计算和分析．在此基础上完成了设计背景要求下加速度计参数的优化设计，结果表明：该系统精度可以达到5×10^-6g以上．

针对硅微惯性器件中的微小差分电容检测,提出了一种应用于三明治结构差分电容式微机械加速度计的闭环检测电路.通过等电势屏蔽法,相干解调技术和增加激励信号对称性等技术屏蔽杂散电容,抑制了电路噪声和共模误差,提高了检测电路的微弱信号辨识能力;静电力平衡闭环检测克服了开环输出信号的非线性缺陷,实现了高线性度、高分辨率的电容检测.设计的闭环检测电路具有电路简单、线性度好、抗干扰性强和易于集成的特点.实验结果表明,加速度计量程可达±15g,电容分辨率可达10-16F.

乏信息材料布氏硬度测量误差的预报是硬度计量领域的新兴课题,有别于传统的统计学理论,综合灰色系统理论和自助法的理论知识,提出一种实现乏信息材料布氏硬度测量误差预报新方法.对小样本空间的材料布氏硬度测量数据中各误差源影响进行标定,计算各误差源对测量结果的误差传递系数,并对各误差源数据序列进行自助法抽样,通过灰自助融合建模获得误差源标定预测值;按照误差合成的方法实现乏信息材料布氏硬度测量误差的灰自助预报.通过具体的实例进行计算,所得的预报结果与采用标准硬度机所得测量结果一致,验证了乏信息材料布氏硬度测量误差灰自助预报新方法.

运用模糊理论描述了影响加速度计标度因数稳定性诸多因素的不确定性问题,针对其中的磁钢磁感应强度和石英摆片热膨胀系数两类稳定性影响因素,给出了其三角模糊数区间,并通过该型加速度计的磁-结构耦合ANSYS分析求出了在模糊参数不同组合下的仿真输出,根据仿真输出结果获得了标度因数模糊稳定区间,给出了加速度计标度因数稳定性分析流程及实例.分析说明了基于模糊理论的稳定性分析方法可以为加速度计加速稳定试验截止条件提供依据,对提高加速度计标度因数长期稳定性水平具有重要意义.

传统聚焦测度函数在远焦区对图像高频能量解析性能较差；表现为聚焦曲线在远焦区呈现非单调性．利用傅里叶变换方法对图像频谱进行分析：在远焦区，聚焦图像序列的直流分量表现出强烈的波动性，并且直流分量在图像频谱中占据绝对比例，再加上传统聚焦函数滤除图像直流分量的能力较弱，导致误聚焦概率高．考虑到频域聚焦函数计算量大，提出基于时域的两个聚焦函数．实验结果表明：此二函数具有强的直流分量滤除能力，能有效改善聚焦曲线在远焦区的表现，同时具有高的聚焦分辨率．远焦区聚焦性能的改善对于提高显微视觉操作自动化的可靠性尤为重要．

针对传统悬臂梁-质量块结构加速度计存在的灵敏度与固有频率不能兼顾的问题，设计一种差动式光纤Bragg光栅加速度计，建立系统模型，对测量精度等进行理论计算与分析．传感头设计采用主梁与微梁结合的结构，是悬臂梁-质量块结构的一种改进形式，并运用有限元方法对其静态特性和动态性能进行仿真分析．结果表明：该设计系统精度可以达到10．5×10^-3g，固有频率为270Hz，固有频率是同等精度的传统悬臂梁结构光纤光栅加速度计的2．7倍；此结构的加速度计在不降低灵敏度的同时可以有效提高系统的固有频率．

卫星帆板转动和自身颤动会导致太阳X射线-极紫外射线（X—EUV）成像望远镜的成像质量下降．用移动补偿系统控制相机的CCD驱动器，使势阱转移到相邻相的位置上，转移的方向正好与图像在传感器上移动方向一致，使得图像的每个光子在移动后仍然落入传感器的同一个势阱内，补偿由于帆板移动造成的图像偏移．CCD相移沿列的方向进行，而CCD的列平行于东西向．高精度太阳敏感器使用两轴直角坐标来定位太阳的位置．移动补偿系统只使用其中一个轴向数据，由于南北指向误差远远小于东西指向，因此不对南北指向补偿．该移动补偿系统利用高精度太阳敏感器构成半闭环控制系统，通过偏移CCD势阱来实现一个方向上的移动补偿．该方案可以在不增加成本的前提下，消除长时间曝光过程中的太阳的平移和帆板颤动对图像质量造成的影响，扩大动态观...