氢、氮、氧、氩等气体的纯度分析技术已成为一门专业分析技术,它在冶金、半导体、集成电路、电真空、化工和医学等部门有着广泛的用途。分析手段和水平的提高将推动这些部门生产效率的提高和产品质量的提高,目前超纯气体纯度的分析,以色谱仪为主,少数场合应用了色谱-质谱联用仪。近来开始注重用电子碰撞离子源的质谱仪器进行气体纯度分析,它具有快速和全成分分析的优点,并