针对精密加工过程中影响圆度误差分离精度的问题，在轴截面的测量坐标系中，根据传感器和轴截面的运动关系建立起传感器输出的动态测量模型，通过对圆度误差分离算法的推导来研究其近似条件，并分析讨论了角度参数及周期采样点数对误差分离的影响；在此基础上，提出了一种提高分离精度的误差分离方法，并通过实例验证了误差分离的有效性。

通过对3点法圆度误差分离技术的分析和基于被测圆轮廓几何特征不变并具有周期性的特点，提出了一种不需要傅立叶变换、可直接求解被测圆轮廓圆度误差的新算法——矩阵算法。并在3点法分离出的回转误差运动进行分析和研究的基础上，推导出分离被测圆轮廓最小二乘圆心的偏心运动和回转轴纯回转误差运动的数学公式，并通过仿真验证了所提出方法的正确性。

通过对主轴回转误差运动的分析，结合三点法圆度误差分离技术，提出了一种完全分离圆柱度测量基准误差的分离方法，即利用主轴回转轴线平均线、测量传感器及直行导轨之间的空间位置关系，建立相应的坐标系，在分离出被测截面圆度误差、最小二乘圆心初始坐标的基础上，完整地分离出影响圆柱度精密测量的径向回转运动误差和导轨的直行运动误差。该技术不仅可以消除测量基准误差对圆柱度测量精度的影响，还可以实现主轴回转误差、导轨直线度以及导轨对主轴平行度误差的精密测量，对高精度误差补偿加工和机床的精度检验也具有重要意义。

针对大尺寸试件的圆柱度误差的超精测量时仪器的测量基准的误差分离问题，提出了一种可分离出基准间的平行度误差以及直行基准的直线度误差的方法，即反向法误差分离技术。利用该方法建立的两截面及多截面误差分离模型已用于重要试件圆柱度误差的超精测量中。

介绍了一种由程控型多齿分度台和高精度圆度仪组合而成的全自动误差分离装置,该装置能够使圆度仪主轴回转误差从被测工件测量结果中可靠分离,从而极大地提高了圆度测量不确定度,本文对该装置测量不确定度进行了分析.

精密、超精密加工技术的发展使得误差分离技术得到了广泛的研究及应用，并取得很大的进展。但以往对误差分离技术的研究，大多是针对具体误差的在线测量和分离的实现或是提高测量精度的措施，而对各种误差分离技术之间的关系及不同误差分离技术的共同点比如时域、频域分离方法的异同等研究不足。本文针对这一问题作较为详尽的分析，并从分离方法的传递特性入手，阐明误差分离技术时域和频域分离方法本质上的一致性，不同之处仅在于表达方式的区别。

油管接箍是典型的薄壁工件，在加工过程中，因夹紧力过大常造成接箍内壁螺纹圆度误差超差。为此，设计了3个传感器均布的测量方法。该方法利用3点误差分离法中的谐波抑制现象，运用NI的数据采集卡和Labview程序测量接箍在三爪卡盘下的夹紧变形量，分析夹紧变形量对加工后工件圆度的影响，得到夹紧变形量必须小于工件圆度公差要求的结论。实验结果表明，3点均布传感器的测量方法可靠，加工后接箍内壁的圆度误差和加工前的夹紧变形量基本相等。

圆度误差分离技术（EST）有效地提高了圆度测量精度。本文对圆度误差分离技术作了综合叙述，介绍了圆度误差分离技术的一些基本概念，详细讨论了几种常用的圆度测量误差分离方法并简要介绍了一些新的方法。

本文在比较了误差分离的几种方法之后,着重讨论了多步法的方法误差和系统误差。按此法建立了计算机辅助毫微米圆度测量系统,将圆度仪的测量精度(2σ)从原来的0.025微米提高到0.002微米,足以满足精密工程、惯性技术和宇航科学等领域对超精圆球的计量要求。

以高速磨削电主轴为研究对象,对电主轴回转误差的表现形式、误差的分类进行分析。建立误差分离模型,提出利用最大波峰值减去最小波谷值的方法进行误差分离,并建立径向误差、倾斜误差和轴向误差运动的模型。通过最小二乘法平均值算法分析径向误差,基于径向误差轨迹分析得出倾斜误差。结合时域和频域的信号分析方法,对轴向误差进行分析。基于双标准球、多个高精度电容位移传感器和温度传感器组成的测量系统,在某国产磨削电主轴上进行动态回