主要研究了自动微器件装配系统的定标技术和操纵策略两个问题．在加入了尺度因子优化步骤之后，一种基于Tsai两步法的自定标方法实现了亚微米级的定标精度，并且获得了更加可信的定标角度参数．这种定标方法应用于微器件装配系统中并可以实现高精度的微器件定位．除了精确定标之外，我们还应该选择合适的工作环境来控制粘附力的大小来提高微器件操纵成功率，选择合适的夹持和释放方式来提高微器件操纵效率和释放位置精度，选择一种安全简单的移动路径来缩短移动时间．实验表明，我们的自动微器件装配系统可以在10S内完成一个器件的定位和移动操作，并实现数微米的释放位置精度．

根据各向异性湿法刻蚀针尖的自锐效应模型和晶面交点模型, 设计了AFM探针针尖加工工艺流程,并进行了针尖加工实验.通过分析实验结果并结合晶面交点模型,分别得到了针尖形状与蚀液浓度、刻蚀液温度、添加剂、掩模方向的关系.结合自锐效应模型,得到了(100)硅片刻蚀针尖自锐条件.最后对工艺参数进行了优化,采用15 mol/L的KOH溶液,在70 ℃,并且方形掩模边缘平行于<110>方向,可以得到满足自锐效应的、重复率高、表面粗糙度小、高宽比为1.56的单晶硅针尖.

结合矿井单轨吊机车运输巷道中风门的特点,本文将对原有风门闭锁装置存在的弊端、风门联锁装置的改进方案、可行性研究分析等进行详细阐述。对比两种改进方案,本文将得出气动式风门联锁装置在单轨吊机车运输系统的风门中具有安全性、适用性、经济性的特点,在长距离风门间距联锁中具有一定的推广意义。

友众煤业辅助运输系统全部实现了单轨吊机车运输,单轨吊机车在行驶过程中撞击风门事故时有发生,为了防止这种事故的出现,研制了气动式风门联动阻车器,为机车运行安全、矿井通风系统安全提供了一定的保证。