详细阐述了用于纳米定位的偏振激光干涉仪的原理,并介绍了基于该偏振仪的纳米定位控制方法.该方法已由实验论证,实验位移系统的最小步长实测值为5 nm.并对系统的最小位移步长、重复性和分辨率做了详细的分析,在系统环境控制条件下适用于毫米行程位移,可应用于纳米计量和纳米加工.

由于在直线度误差测量过程中的各种原因,导致许多观测数据与实际值偏离或者很难进行处理.文中介绍一种简单的处理原始实验数据的数学方法,即采用最小二乘理论对所测数据进行最优估计,来寻求最佳解.这种方法在实际生产和科学研究中具有一定价值.

建立了叶片厚度仪的实际传动特性方程，通过与理论的线性模型比较，获得了仪器的原理误差函数式。并且分析了测量时接触变形误差对测量结果的影响问题，在此基础上提出了减小原理误差的方案，并以增加测量臂长为例论述了减小原理误差的方法。

针对目前我国水资源短缺的现状,提出基于植物水分诊断检测技术的闭环反馈控制节水灌溉系统.该系统的关键技术是研究可同时精确测量叶片厚度和温度的双参数融合式传感器,厚度测量的传感器原理实验已经完成.

文章针对舰艇声呐平台的噪声问题,研究了三大噪声源对声呐自噪声的影响。研究表明,声呐舱水动力噪声分量主要受肋骨结构影响,在设计中应避免肋骨的形函数与湍流脉动压力波数—频率谱耦合。舰艇自身的螺旋桨噪声和辐射噪声主要从后部和底部向声呐平台传递,在声呐壁面附近和声呐区域产生较高噪声,为提高声呐自噪声控制效果,应在非透声壁面采取隔声措施。舷侧声呐受艇体振动影响较大,应在声呐单元安装导轨的振动传递途径上采取阻尼控制措施,有效降低声呐单元的振动响应。

在大众化高等教育的大背景下，“特色决定生存”已经日益成为共识。我院测控技术与仪器专业在经过长期的“突出计量特色，加强专业建设”的努力之后，取得了“学生受益、家长满意、社会认同”的良好人才培养效果，并于2007年成为国家级“第一类特色专业建设点”。实践教学是特色专业建设中的一项重要内容。对该专业的实践教学体系、实践教学内容进行了讨论，最后介绍了该专业的人才培养效果。

高压气体润滑方式在超精密领域得到了广泛应用。传统的气压源存在供气量少或稳定性差的缺点，难以满足当前气体静压节流器所需的高压力稳定度的气源要求，为此采用二级串联控制方法以及模糊PID算法设计了一种仪用高稳定度气压源系统。首先对该系统的软、硬件设计方案进行了简单介绍，其次对气压源整体性能进行了相关实验。实验结果表明：当气体流量在0～15L／min范围时，该系统可获得高稳定的气体压力，且相对误差小于1．14％。

为了提高分析矩形止推气浮轴承静态性能的精确度,利用有限差分法对雷诺方程进行了求解.据此,对双U形止推轴承和双圆形止推轴承中两个均压槽之间的耦合关系进行了分析,并利用所设计的装置分别对这两种气浮轴承的承载力理论结果进行了试验验证.研究结果表明：双U形止推轴承中均压槽之间的耦合关系随着气压的增加而增强,双圆形止推轴承中的均压槽之间的耦合关系相对稳定,其强度不会随着外界条件的改变而改变;双U形止推轴承承载力要强于双圆形止推气浮轴承;有限差分法所得出的承载力与试验结果具有较好的一致性,其最大的相对误差分别为12％,13.3％.证明了该方法对矩形止推气浮轴承进行静态性能分析的有效性.

超精密测量对环境振动要求非常严格，其仪器设备中多安装隔振装置。针对课题组圆度仪中使用的仪用小型空气弹簧隔振台，采用理论方法研究其固有频率。首先简化隔振台振动模型，根据该隔振台中约束式膜式空气弹簧的特定结构及相关理论，建立单个空气弹簧数学计算模型，获得单个空气弹簧刚度特性与其垂向变形量x的关系式，最终求得隔振系统的固有频率；同时利用压电式加速度传感器设计振动测试试验，对采集到的加速度信号进行预处理、积分运算、频谱分析，获得该系统的固有频率，两者对比，误差不超过10％，达到预期研究目标。为理论上研究该隔振平台的隔振性能及其耦合振动情况提供理论基础，也对其他类似结构的空气弹簧刚度特性的计算有一定参考意义。

目前,有关资料对外啮合齿轮泵工作原理的表述是不全面和较模糊的。通过吸油、输油、排油三个过程对完整的外啮合齿轮泵工作原理进行详尽分析,总结出吸、排油腔的容积变化规律,并说明了这种容积变化不会影响到吸、排油腔的油压变化。