详细阐述了用于纳米定位的偏振激光干涉仪的原理,并介绍了基于该偏振仪的纳米定位控制方法.该方法已由实验论证,实验位移系统的最小步长实测值为5 nm.并对系统的最小位移步长、重复性和分辨率做了详细的分析,在系统环境控制条件下适用于毫米行程位移,可应用于纳米计量和纳米加工.

利用琼斯矩阵理论，研究了基于偏振移相技术的激光干涉仪中1／4波片和1／2波片的非理想因素导致非线性误差的产生机理和变化规律．理论研究表明：在导致波片处于非理想状态的各个因素中，干涉仪中两个1／4波片的差模延迟角误差△εη所产生的恒定偏置误差和接收装置中1／4波片的延迟角误差εq3所引起的一次谐波非线性误差，是组成干涉仪非线性误差的最主要的两个部分；波片各种误差源非理想因素导致的非线性误差在小误差情况下经线性叠加后由干涉仪最终输出．