基于光栅传感器位移测量的软、硬件设计

　　光栅作为精密测量的一种工具，由于他本身具有的优点，已在精密仪器、坐标测量、精确定位、高精度精密加工等领域得到了广泛的应用[1，2]。光栅测量技术是以光栅相对移动所形成的莫尔条纹信号为基础的，对此信号进行一系列的处理，即可获得光栅相对移动的位移量[3]。将{%光栅位移传感器%}与微电子技术相结合，进行线性位移量的测量，以实现较高的测量精度。本文采用光栅作为传感元件，经接收元件后变为周期性变化的电信号(近似正弦信号)，采用逻辑辨向电路区别位移的正反向，利用单片机进行数据处理并显示结果。软件采用汇编语言实现。

　　1　硬件电路

　　本设计的硬件电路主要由单片机89C51、计数器8253、细分与辨向电路、信号变换电路和{%光栅位移传感器%}组成。如图1所示。

　　1.1　{%光栅位移传感器%}

　　{%光栅位移传感器%}包括以下几部分：光栅;光栅光学组成。光栅光学系统的作用是形成莫尔条纹;光电接受系统。光电接受系统是由光敏元件组成，他将莫尔条纹的光学信号转换成电信号，本系统采用的光敏元件是4个硅光电池。

　　1.2　信号变换电路

　　信号变换就是将由光敏元件输出的正弦电信号转换成方波信号。本文中采用的比较器LM339，来自光栅的莫尔条纹照到光敏元件硅光电池上，他们所输出的电信号加到LM339的2个比较器的正输入端上，而在这2个比较器的负输入端分别预制一定的参考电压，该参考电压应使光栅输出的方波的高、低电平宽度一样。

　　1.3　细分与辨向电路

　　1.3.1　细分电路

　　为记录光栅上移过的条纹数目和判断光栅的移动率等，传感器中采用4极硅光电池来接收莫尔条纹信号。调整莫尔条纹的宽度B，使他正好与4个硅光电池的宽度相同。则可直接获得在相位上依次相差90°的4路信号，即进行4倍细分。如图2所示。

　　1.3.2　辨向电路

　　位移除了有大小的属性外，还具有方向的属性。为了辨别标尺光栅位移的方向，仅靠一个光敏元件输出一个信号是不行的。必须有2个以上的信号根据他们的相位不同来判断位移方向。因此，本设计采用的是4个硅光电池来接收莫尔条纹信号，则输出的4路信号在相位上依次相差90°，利用这种特点设计的辨向电路的如图3所示。图中u1，u2和u3，u4分别通过相同的电路实现对位移方向的区别。当莫尔条纹上移时(假设经过硅光电池的前2个，此时u1，u2有信号，u3，u4无信号)，则图中A点有计数脉冲，B点为恒定电平;当莫尔条纹下移时(假设经过硅光电池的前2个，此时u1，u2有信号，u3，u4无信号)，则图中B点有计数脉冲，A点为恒定电平。用2个不同计数器分别记录上移和下移所形成的脉冲数，即可实现辨向。