光学系统MTF测量中的自动背景校正方法
1引言
传递函数(MTF)反映了光学成像系统传递信息的频率特性,以一个函数的形式定量地表示出了星点所提供的大量像质信息,己被广泛应用于各种光学仪器的质量评价中。常用的MTF测量方法有扫描法和干涉法。扫描法是通过在像面上对系统的线扩散函数(LSF)进行扫描,并对其进行傅里叶变换得到MTF;干涉法是通过干涉的方法得到系统的光瞳函数,进而得到MTF。在扫描法测量MTF中,能否有效地去除像面上LSF的背景将直接影响测量的准确性。
在MTF的测量过程中,背景的影响主要来源于周围环境光线的影响、目标板衬底遮光不完全等。目前的测试方法中,多采用手动背景校正的方法:首先获得有背景影响的系统LSF,而后将目标源(星点或狭缝等)挡住,获得背景信息,再将两幅图像或曲线相减,从而得到被测系统真实的LSF。
该手动背景校正方法存在很多弊端,首先,由目标板衬底遮光不完全所产生的背景影响不能被消除;其次,当周围环境光照不稳定时,校正将产生错误;另外该方法测试速度慢,不利于测试工程的自动化。
现提出了MTF测量中的自动背景校正方法,它可以准确地去除背景影响,并能在周围环境光照不稳定的情况下进行测量。这种方法适用于接近衍射极限的小像差光学系统,文中将其应用在数字傅里叶法MTF测试中,完成了对镜头MTF的测试,试验结果表明,测试平均误差小于5%。
2自动背景校正方法原理
在MTF测试中,当获得的系统LSF背景校正不完全时,得到的MTF曲线在低频处迅速下降。相反,如果背景校正过多,则低频处MTF曲线下降过于平缓,如图1所示。
对干衍射极限的n形光瞳情斗,茸传涕函数为
当测得的系统背景校正不完全时,得到的MTF曲线在零频处的斜率将低于:,而背景校正过头时,将高于s,这就是自动背景校正的原理。
3试验过程与结果分析
采用数字傅里叶法对标准镜头进行MTF测量,以验证自动背景校正方法的准确性。
3. 1数据采集
实验框图如图2所示,将狭缝目标板放在准直光管的焦面处,在被测镜头后放20 X显微镜,将狭缝像放大20 X后成像在CCD上,这样可以消除由于CCD尺寸引起的频谱混叠。狭缝像输入计算机后,就可以进行数字处理,计算MTF了,试验使用的镜头为圆形口径的标准镜头,其MTF是己知的。
3.2数据处理
3.2.1噪声与随机误差的去除
通过多帧图像平均的方法可以去除噪声影响田。
由于实测的数据带有随机误差,根据线扩散函数曲线的形状,采用五点三次平滑进行处理,在每个数据点的前后各取两个相邻的点,用三次多项式进行逼近:
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