针对传统机械式微位移机构无法达到很高的定位精度，设计了一种用于实现精密定位的压电陶瓷驱动的微位移机构。给出了该机构柔性铰链的设计参数，并计算了铰链材料的强度。利用有限元分析软件ANSYS对微位移机构进行结构静力分析，分析了理论计算与实际机构之间存在的误差，结果表明，所设计的柔性铰链参数是正确的。

研究了稀土超磁致伸缩材料(Tb0.27D y0.73)Fe1.9(商品名为Terfenol-D)微位移机构的设计方法；建立了基于Terf enol-D棒的高速强力电磁阀的动态响应特性模型，这一模型对基于Terfenol-D的产品设计 具有重要的参考价值，并用计算机对这一模型进行了仿真，与实验结果进行了比较、分析。

压电陶瓷驱动器在较高电场的作用下将产生严重的非线性，从而影响其定位精度。压电陶瓷驱动器的非线性不仅与材料的非线性、蠕变、滞后等因素有关，还与器件的动态响应特性有关。动态响应的迟滞非线性是影响压电式微位移驱动器控制性能的一个关键因素，直接关系到控制精度的提高。该文采用前馈控制同数字比例、积分和微分环节（PID）控制相结合的复合控制算法对一维压电式微位移机构的控制过程进行校正补偿，建立了动态特性的闭环校正控制系统。实测结果表明，机构的动态响应时间显著缩短，实现了机构的快速响应。

我们建立了一套系统用来驱动冲击式微位移机构并实现数据的实时采集和分析，测定了叠片式压电元件的有效矿井民常数，比较了锯齿波和抛物波对微位移机构的驱动效果，测试了微位移机构的和步长和工作速度，以及在斜面上的爬行能力。同时我们通过分析和选择驱动波型参数，更好地控制了微位移机构的行进方向和速度。

微动工作台是微机电系统及其制造设备中的重要部件.文章结合电致伸缩陶瓷驱动器和杠杆柔性铰链机构,论述了二维微动工作台微位移机构的设计,建立了微位移机构的机电耦合模型.重点分析了机构的暂态响应和稳态响应及其影响因素,为微动工作台系统设计、改善微位移机构的响应速度以及控制系统参数的确定提供了理论依据.

文章介绍了一种新型微步进旋转驱动器,该驱动器核心元件采用螺旋原理,用定子内箝位的方式和均布薄壁柔性铰链微变形结构;根据分析和有限元计算,其核心元件——运动转换机构输出的角位移与轴向位移成线性关系,且施加载荷也与轴向位移成线性关系,该驱动器在精密运动和定位、微操作、光学、生物及医学工程等领域将有较大的应用潜力。

采用正交试验法安排单自由度微位移机构柔性铰链的结构设计参数,运用有限元分析方法,建立该微位移机构的三维实体模型进行仿真计算,取得单自由度微位移机构对应于载荷的位移和应力数据,通过逐步回归分析法建立该微位移机构的位移和应力的数学模型,从而定量地分析柔性铰链结构参数对该微位移机构性能参数的影响.同时,由样机实测得到测量数据,验证了最优回归方程(数学模型)的计算结果.

介绍了一种精度高、性能稳定、结构简单的二维微动工作台微位移机构的工作原理及其设计;着重分析了为消除机构间隙和工作台爬行,提高定位精度和响应速度所采取的技术措施电致伸缩陶瓷驱动、柔性铰链与杠杆放大一体化结构等.

微位移技术是精密机械和仪器实现高精度的关键技术之一.介绍了一些典型的微位移机构的结构、原理、特点和应用,并对这些机构进行了比较分析,最后介绍了应用实例.