采用射线追迹与Stratton-Chu矢量衍射积分相结合的方法,分析计算小F 数倒置显微镜成像系统焦区的矢量衍射场分布.假设一线极化平面波倾斜入射在系统入瞳上 ,入射波频率在毫米波频段,给出了成像系统焦区衍射场分布的数值计算结果,其等高线图显示出一定像差条件下透镜系统的成像性能.分析了衍射场的矢量特性.计算与实验做了比较 ,两者吻合.