微机械在信息仪器中的应用

　　1.前言

　　微机械包括微结构、微致动器、微传感器、微控制、组装、系统设计、微加工以及微能量等方面的技术。本文介绍带运动的信息仪器，利用微机械技术迅速发展的旧信息仪器以　　及新出现的信息仪器.

　　2.带运动的信息仪器

　　用于信息系统的仪器在具有输入输出接口的同时，还有处理、判断、思考、存储、运动、控制等功能。通过接口连接计算机或者通信系统。

　　若按运动的观点分类，则可分为　磁头、介质、反射镜等被驱动的结构，　如图1所示。按运动的目的大致可分为:(1)根据匀速运动，间歇运动、随理运动，以进行信号的记录、再现和处理的被驱动结构运动;(2)能量转换的运动;(3)以亚静态移动信号的传输运动。其中，(l)是常用于文件存储装置的机械，并且最近用量日增，(2)是打击式打印机或者多介质的大容量存储装置不可缺少的机械，(3)是随着电子线路技术的发展，正逐渐被淘汰的机械。

　　从上述的趋势看，越来越要求(1)的可动部分的微小化，(2)为高效率化，要求将致动器、传感器、处理机巧妙组合成的系统智能化。

　　毫无疑问，因信息仪器采用新技术，所以从机械式向机电式，从机电式向全电子方向进化。如果从历史发展看，在信息处理领域中，机械技术、机电技术可谓是最终达到全电　　子化的过渡技术。但是，所谓的过渡时期象传真、打印机、磁带、磁盘、光盘、大容量存储系统(MSS)等，在支承高速旋转、精密拾音器、介质处理之类的机械运动的信息仪器中将永　　远存在下去。

　　目前技术水平和今后的课题，如图2所示。信息仪器技术的发展，将精密定位、高速连续驱动、介质处理之类的机构逐渐微小化，通过微型元件的集成将实现所要求的功能。

　3.旧信息仪器的飞跃发展

　　在制定新产品开发规划的时候，由技术的“发展方向”和市场的“需求方向”来决定开发内容，可以说作为一般方法采用追求型。就磁盘装置而言，首先抓住高密化这一方向。它关系到磁道密度的提高。例如，若将磁头介质间隙极小化为0.1拌m一。，则磁盘直径越来越小。反过来，直径小促进了缩小间隙进程。图3是磁盘装置的面记录密度的逐年变化情况。由图可知，小型化和高密度化同时向前发展。从这两者的信息，确定下一代磁盘装置的方式，它要求磁头、滑触头、旋转体、致动器等部件的微型化。如果继续发展，那么也许可实现微小悬臂式存储结构和盘直径为几毫米的存储装置。