JSM-T300扫描电镜物镜光阑加热线路维修一例

　　我单位自1985年购进日本电子公司JSM一竹oo型扫描电子显微镜，至今已工作23年，该仪器使用率很高，在我校的教学和科研中发挥了重要作用。在使用过程中，仪器先后发生了一些故障，大多由我室技术人员自行解决。现将最近出现的一次故障维修经验总结如下，以供拥有相同型号电镜用户参考。

　　1故障现象

　　电镜正常抽气、加高压和调整灯丝电流饱和度后，图象出现。图象在1《X拭)倍以下没有明显的误差，但1仪C倍以上时整幅图象出现右侧向的锯齿形扭曲(图1)

　　2分析和检查

　　图象出现锯齿形扭曲的原因有多种:(l)镜筒污染;(2晓筒扫描电路故障;(3)显示器扫描部分故障;(4)外界杂散磁场干扰;(5)其他未知原因。

　　3故阵排除

　　由于扫描电镜属于大型精密仪器，因此我们依据由简单到复杂、由经常维护保养部分到长期未动的部分原则对故障电镜进行检修。第一、排除外界杂散磁场干扰，实验室周围是否增加了什么大型或大功率设备?经检查未发现。第二、依次对扫描电镜镜筒部分的灯丝、聚光镜、物镜的固定光阑和活动光阑进行清洗，重新开机检查，故障未消失。第三、因镜筒扫描和显示器扫描是连动的，因此对以上两部分进行检查，未发现有器件性的原因。因此，对整机电路进行检查，发现该型电镜有一特别的部分与其他电镜不同，就是其物镜活动光阑具有电加热系统(如图2所示)，使物镜活动光阑具有自洁作用。发现开关三极管TRZ击穿，形成震荡电流加到物镜活动光阑，影响到电子束在样品上的扫描。更换TRZ后，开机检查，故障排除，电镜图象恢复正常。

　　该位置故障较少见。电镜故障有时较为隐蔽，这需要我们更加细心仔细的检修

　　4经验教训

　　除了元件老化击穿以外，同时我们也应该注意到，由于物镜活动光阑插人物镜中的空间比较小，有可能在更换物镜活动光阑孔的时候光阑与物镜接触造成短路接地，也会引起该加热电路异常。在更换物镜活动光阑时，光阑安装不对也有可能引起该加热电路异常，在更换光阑完成后应测量其对地电阻是否为无穷大。因此，对精密仪器进行操作时，小心谨慎是必须的。建议只有经过严格培训的人员才能操作电镜。

本文作者：李卫东 梁莹 莫晓敏