J51150/ZF型自动砂轮划片机是国营西北机器厂承担的国家“七·五”攻关项目之一,是该厂在“七·五”散件引进组装、消化吸收、主要软件移植基础上的翻版产品。该机集八十年代高科技于一身、光机电一体化、达到了国外八十年代中期水平,完全可

ＱＰ—３０１Ｂ切片机电气设计电子工业部第４５研究所尚志伟引言ＱＰ—３０１Ａ切片机性能优异、生产量大，被广泛应用于陶瓷滤波器、延迟线等领域中。为了进一步提高整机性能，降低电气成本，提高可靠性和控制精度，对其电控系统进行换代成为必然。目前，在我国单片机应...

用于硅片台计量的二维测量干涉仪已被开发出来。它能同时测量线性位移和角位移，它被设计成置于密闭的环境中，减少了工作站质量，消除了热源，并能提供高分辨率和偏转速率。

本文通过一个实例，较祥细地探讨了通过配合法及P、w求解的途径设计显微摄象物镜的过程，叙述了此类光学组的光学特征。

本文简述各种频率分析方法之后,着重就经典的扫描频率分析法,以功率谱密度数据分析为例,讨论实际分析参数选择的限制和误差,并就分析带宽对分析结果的影响进行了实验验证。

智能化微系统是MEMS的下一步的发展方向,介绍了几种构成智能微系统的集成方式,分析了微系统在应用、研究中存在的问题.

本文结合掩模缺陷自动检测系统的精密扫描工件台的特点,采用CAD技术对其动态特性进行实验模态分析,给出该系统的实验结果和识别的模态参数。

利用传统的电阻焊技术实现了MEMS真空封装，制定了基于熔焊的工艺路线，进行了成品率实验,研究了影响真空封装器件内部真空度的各种因素，并对真空封装器件封装强度进行了检测．

原子力显微镜已成为人们观测和研究物体微观世界的强有力工具，由悬臂梁与探针集成件组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件，它的结构和性能直接影响原子力显微镜的性能、测量分辨率和测试图象质量。本文着重介绍了原子力显微镜基本工作原理、对力传感器的要求、力传感器的结构和设计、力传感器的微机械加工以及其主要性能测试等问题。

介绍了有关冲击摆(单摆与复摆)的计算方法、产生加速度的原理、加速度的调整与测量方法及其误差分析.冲击摆是在工厂条件下校准加速度计的一种装置.对于低于5000 m/s2的冲击加速度,其稳定性和精确度都很好;若加速度波形为半正弦波,其综合测量误差优于5%.