简要描述了MEMS系统的特点，介绍了基于MEMS技术的惯性测量器件及系统在国外的发展现状及应用情况，从武器系统低成本、小型化、高可靠性的发展趋势说明了武器系统中使用MEMS技术的必要性，同时根据武器系统对惯性测量器件的要求，通过国外武器系统中的成功应用说明了MEMS技术在飞航导弹或无人机的控制系统中使用的可行性，最后针对国内MEMS技术的发展情况，对MEMS惯性测量器件及系统在武器系统中的应用提出了相关要求。

叙述了在微工程研究领域有代表性的微机电系统（micro electro mechanical system，MEMS）技术特点，介绍了MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS加速度计等典型的MEMS产品，阐述了MEMS基础理论研究进展以及国外对MEMS陀螺仪、MEMS加速度计的研究和发展现状，分析了MEMS技术在飞航导弹等飞行器上应用优势。

随着国民经济建设的发展，需要使用测斜仪的工程日益增多，例如水库土石坝工程，城市高层建筑基础地坑挖掘工程，露天矿床开采工程等等。所谓测斜，即土体岩基监测基准面相对原始位置的倾斜变形的测量。测量地球重力加速度矢量相对被测基准面之间的位置参数是测斜的基本原理，从悬吊重锤用肉眼瞄堆直到目前最先进的力平衡伺服加速度计测斜仪都是基于这一原理。

综述了微硅加速度计的发展概况,叙述了力平衡式微硅加速度计的基本原理、国外一些厂家的研制情况和对战术级微型惯性测量装置的推动作用,提出了对发展硅微加工技术的初步想法.

随着电子技术和讥诫技术的发展，支撑这些技术的精密加工也不断地向更高阶段发展。 以静所采用的微孔加工方法-一微型钻头加工、激光加工、电子束加工、腐蚀加工及电火花加工等方法虽然都各有其优点，但也存在一定的不足之处，所以期望研制出更理想的加工技术及加工机械。

介绍了自行研制的HICT-450型固体火箭发动机无损检测自动化系统的寻优设计过程,并介绍了ICT的设计特点及其关键问题.

对国产石英振梁加速度计的技术发展状况及所达到的技术指标进行了讨论,并与国外同类产品美国Sundstrand公司的低成本战术级石英振梁加速度计RBA500进行了性能指标比较,指出目前存在的问题和今后的发展方向.

叙述了当前惯导领域应用最广的力平衡式加速度计、石英振梁加速度计和单晶硅微加工加速度计发展概况,分析了它们的工作原理和结构特点.提出了在力平衡式加速度计发展较为成熟的基础上,在中高精度领域应优先开发石英振梁加速度计技术,在中低精度领域应大力发展单晶硅微加工加速度计技术.

今后几年,微机电系统(MEMS)在军事设备领域将变得和今天的微处理机一样普通.MEMS是用传统数据处理与控制系统集成最新型的敏感与传动功能的微小尺寸装置.MEMS通常由硅制成,多采用由微电子工业开发的部件的装配与封装技术.它之所以具有自己的特点,即将机械或结构部件(如带有电子装置的加速度计和微透镜)和一些电子装置(如微处理器和射频发射机)集成在一起,也包括流体、光学、电磁和电稳定系统.

伺服系统在我国的现代化建设中，正在得到日益广一泛的应用。而在所有的伺服系统中，比如电伺服系统、液压伺服系统、电液伺服系统等等，尤以电液伺服系统反应最快、控制精度最高、工作稳定可靠，又能以小功率控制大功率输出;且体积小、重量轻。由于电液伺服系统具有上述显著特点，因此，它越来越普遍地应用在许多先进工业技术中。