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自由曲面光学镜误差修正加工中输入控制量的算法

作者: 吴鸿钟 冯之敬 赵广木 来源:中国机械工程 日期: 2022-09-28 人气:2
自由曲面光学镜误差修正加工中输入控制量的算法
通过误差矩阵和模具的工作特性函数反求输入控制是加工高精度的自由曲面光学镜所面临的难题。由于卷积方程往往是病态的,因此直接的傅里叶变换求解使结果发散。采用了最小平方函数和拉普拉斯算子范数来求得解的近似,然后进行自由曲面的误差修正。仿真结果证明效果较好。
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