针对一种新型的声光波干涉测量技术,对声光栅正弦结构光投射器的三维测量工作原理进行了系统的分析,讨论了影响投射器光学系统结构的因素和影响接收屏上的光照度的因素,并进行了光学系统设计。在优化设计过程中,采用了限制光线最大入射角的方法,达到控制投射系统的球差和保证接收屏上照明均匀的要求。所设计的声光栅正弦光投射器具有很好的成像质量。应用该系统对在500mm处的石膏像上投射干涉条纹,可以得到能量比较均匀、变形量很小的干涉条纹图,利用该条纹图和相关的算法可以对具有复杂几何形状的物体进行有效的三维测量。

一等环规测量装置采用He-Ne稳频激光波长作为测量基准,应用干涉条纹进行绝对测量,配以高精度的数字细分电路,使仪器分辨力达到5nm;静态光电显微镜瞄准不确定度为30nm;精密定位技术使其驱动步距达到5nm.

针对光纤干涉仪条纹的CCD动态测量技术，分析了限制条纹最大允许移动速度的因素，提出了采用中值滤波提高信号处理速度的方法。在条纹移动速度成指数增长时，实验观察了条纹位移测量值的变化情况，并进行了中值滤波实验。结果表明，条纹的最大允许移动速度除受CCD的场频和信号处理时间影响外，还与干涉仪使用的光源波长和光纤直径以及两光纤间的距离有关；中值滤波可以缩短信号处理时间，同时获得较好的滤波效果。

摩擦与润滑在工业金属薄板形成工艺中起着重要的作用.摩擦决定着金属薄板的变形类型和无撕裂情况下的变形程度. 适当地润滑可以避免金属间的直接接触,减少了模具和工件不必要的磨损,降低了成本.同时,润滑减少了由于粘附作用引起的工件表面的损伤,提高了产品质量,延长了模具寿命. 金属薄板成型的精确塑性分析,常依据一

##a## 自从激光器问世以来，特别是近几年德频激光器付之实用后，干涉精密测量取得了重大的进展。目前，激光干涉系统已广泛应用于长度、角度、直线度、平行度、平面度、两轴正交性、光洁度等几何量的精密测量，机械加工中工件尺寸的控制和切削参数的测量，精密机床、坐标测量机的校正，集成电路制作中的精密定位，以及振动、速度、加速度、重力、压力、材料线膨胀系数等物理量的精密测定。本文叙述几种新的高精度激光长度测量干涉仪，这些干涉系统当然也可以应用于其它精密测量领域。

本文针对相位型光栅的面形测量，用最小二乘法做二次曲线拟合，解决了ＣＣＤ光学干涉计量中像素尺寸以及图像采集卡空间量化误差对测量精度的影响，使干涉条纹定位精度提高一数量级以上。对曲线拟合误差进行了讨论，给出了实测结果。

基于偏振相移和相关分析,提出一种高分辨率、方便实现的干涉条纹细分原理.该原理将细分环节由电子线路信号处理部分向前移,通过干涉条纹强度分布综合信息的分析与处理来实现,即通过具有高分辨率的偏振相移操作,对干涉相位进行相位调控,使干涉条纹强度分布回到位移起始时的状态,则与相位调控量对应的光程,即为位移的λ/2小数倍部分.由于偏振相移采用具有极大放大倍数的硬件机械运动实现,因而能取得可靠的高分辨率细分.理论分析和模拟结果显示,该干涉条纹细分原理可容易地达到nm级细分分辨率.

为了获得被测导轨的直线度误差信息，采用半导体激光器发出的激光，经准直扩束后照射到楔形平板上，利用楔形平板上下表面的反射作用，将这束激光分解为交角2α的交叉光束，在这两条平行激光束交叉的范围内产生干涉条纹。将此干涉光作为准直测量的基准，用线阵CCD作为光电转换器件固定在接收靶上；检测接收靶处于被测导轨任一测量点时干涉条纹在接收靶上的位置，得到了该测量点与准直光束的偏移量。进行了重复性实验以及与光电自准直仪的比对实验。在测量长度842mm时，直线度误差18．96μm，测量长度最远可达14m。结果表明，样机的性能、指标基本达到了预定目标。

针对静态傅里叶变换光谱仪中干涉条纹采集与处理对速度快的特殊要求,设计了用现场可编程门阵列（FPGA）实现干涉图采集和频谱复原系统,CCD采集干涉条纹后进入FPGA进行切趾、傅里叶变换、取模等处理后得到入射光的频谱信息,同时对干涉图切趾函数的选取进行探讨和比较。最后,分别采集中心波长635 nm、650 nm7、80 nm、808 nm8、50 nm半导体激光器通过楔形干涉具的干涉条纹,并将FPGA中频谱复原结果与Avan-tes公司的光纤光谱仪测得结果进行比较,误差在2.5%以内。

采用显微光学系统取代读数显微镜,构成新型的CCD等厚干涉实验仪.通过计算机图像处理技术来补偿因视场扩大带来的条纹分辨率降低的影响.实验测试比较显示,CCD等厚干涉实验仪具有实验观察效果好和采集数据更方便的优点.