电迁移(Electro-migration, EM)是半导体元件可靠性检验的一项重要测试。在EM测试时，一般要使用电炉加温，以取得强化压迫(Highly Stressed)测试条件下的温度读数(150℃-350℃)和电流量的常数(

能谱仪可检测的元素范围为Be^4～U^92，能对轻元素进行定性和定量分析是其最主要的优点之一，碳元素在其可检测的范围之内。对于非导电的样品进行能谱分析时，首先要在其表面喷镀一层导电膜，一般为碳膜。对于含碳的非导电样品进行能谱分析时也需在其表面喷镀一层碳膜，在此情况下选择什么样的测试条件才能使碳的定量分析最准确？针对此问题笔者以方解石（CaCO3）标样为例对其进行了研究。方解石标样的标准化学成分为：CO2：43．97％、CaO：56．03％。