要实现高精度的碳纤维增强聚合物（CFRP）复合材料反射镜的主动成形，使用面内刚度和弯曲刚度均为准各向同性的层合板非常重要。 先建立对称层合板几何模型，根据经典层合板理论，得到准各向同性的要求下，正则化面内刚度系数、弯曲刚度系数以及正则化几何因子应满足的条件，确定单层组数最大的铺层方式， 并提出以正则化刚度系数和几何因子表示的两种铺层顺序优化方法。 然后，针对 M40/环氧 648 材料，通过编程得到不同定向单层数量下的最佳铺层顺序。 最后，用两种优化方法下的优化结果分别建立口径 500 mm 的壳体模型，经有限元静力学分析，得到模型上相同半径上各节点在光轴方向的变形量，并进行数据处理。结果表明：总层数为 24 层时，铺层顺序为[45/-15/-75/90/15/-45/-30/60/-60/0/30/75]s的层合板弯曲刚度的均匀性最佳。采用正则化刚度系

对用波差与表面斜率误差评价光学元件面形误差的方法进行了比较和讨论.以具有不同面形精度的光学元件,在不同的数据处理方法下得到的结果为例,说明此两种面形评价方法在数据处理方法不同时在数值上的联系.

简单叙述了几种可用于ICF实验研究的掠入射软X射线显微镜的主镜结构，详细介绍了Wolter Ⅰ型轴对称掠入射软X射线显微镜的成像原理、系统的主镜参数以及系统中用到的观察瞄准系统的光学方案。

在分析接触式轮廓测量仪误差的基础上，以最小二乘法为基本数学理论，提出了一种能同时校正由于非球面镜放置时存在的X、Y方向的倾斜、Z、Y、Z方向的偏心，曲率半径不准确、以及由于轮廓仪的旋转中心与探测头的零点之问随机的微小偏移所造成的测量误差的数学模型。数学模拟表明，该模型在校正上述误差源上具有极高的精度，对1cm以下的偏心和0．1°以下的倾斜可无误差地恢复，对曲率半径的恢复也极为有效。实际工程应用的结果表明，模型是可靠有效的，为接触式非球面轮廓测量提供了一个宽松的镜子放置条件及自动拟合最佳曲率半径的功能。特别是自动校正由于轮廓仪的旋转中心与探测头的零点之间的随机微小偏移所造成的测量误差的功能提高了测量仪的测量精度和测量结果的重复性。

提出一种用光纤实现点衍射干涉的方法，由两根光纤分别传输参考光和测试光，利用单模光纤的小纤芯所产生的高质量衍射球面波进行超精面形的测量。与传统的干涉仪相比，该方法结构相对简单，误差来源少,且不需要传统干涉仪中的高质量标准面，而是由光纤提供高精度的参考波面。

为莫尔条纹的计数与细分提供了一种基于DSP(数字信号处理器)的高速软件解决方案。它能有效的解决传统系统中计数电路与细分功能不能无缝匹配的问题，提高测量的准确性。由于采用了高速信号处理和闪烁采样技术，采用该方案的系统能处理宽动态范围的莫尔条纹信号。提供的实例能对从直流到1MHz的莫尔条纹信号进行计数与细分，对于1μm光学分辨率的光栅测长系统来说，其相应的最高测量速度为1000mm/s,细分步长可以达到nm级。

研究了一种测量、分离补偿法检测补偿器非圆对称误差的技术，这种技术基于波面误差可用泽尼克圆多项式来表述。通过使补偿器或被测非球面绕系统光轴旋转到多个不同的角度，得到多个测量结果，根据这些测量结果，计算得到由补偿器误差带来的波面误差的非圆对称项泽尼克圆多项式系数，接着根据这砦非圆对称项泽尼克圆多项式系数制作一个校正文件对非球面的测鼙结果进行校正，利用该技术可有效减轻对补偿器材料、加工及装校的苛刻要求，提高测量精度。实验结果表明：对某一被测非球面不用该技术时测量结果为0．105λ（RMS），应用此技术后的测量结果为0．026λ（RMS），且被测面在几个任意不同角度时的测最结果相差只有0．001λ（RMS），效果很好。该技术已被应用到实际的双曲耐凸面反射镜的测量中。

介绍了超光滑硅柱面反射镜的加工过程、工艺控制及检测方法.给出了由超光滑硅柱面反射镜组成的准直扩束系统的出射波面的检测结果.

计算机辅助装调技术是通过计算机对理论和实时检测结果的分析计算来有效地指导装调技术，本文通过计算机对由柱面反射镜组成的红外反射护速系统的各种调整自由度的详细分析，以及在检测时对结果的实时分析，可确定合理的检测方案，有效的减少了调整时间，得了理想的结果。

针对超轻超薄反射镜（超薄镜）径厚比大、自身刚度小、单独加工难度大的问题，采用基底支撑方式对超薄镜进行加工。我们研究了在加工过程中粘接，温度、应力等因素所导致的超薄镜变形的控制手段并对变形控制效果提出了评判方法。通过195mm口径超薄镜工艺实验对控制变形的工艺进行改进，用改进后的加工工艺进行了340mm口径的超薄镜制造，得到了比较理想的面形，下盘后PV值5.74λ，RMS值1．02λ（2=632．8nm）。这表明在超薄镜制造过程中变形控制的技术方案可行，工艺改进方向正确。同时，实验结果表明，超薄镜制造过程中的变形最终表现为镜面出现非重力因素引起的像散。